ФТП, 2009, том 43, выпуск 9

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Комплексная диагностика гетероструктур
с квантово-размерными слоями

С.Г.Конников, А.А.Гуткин, М.В.Заморянская , Т.Б.Попова,
А.А.Ситникова, А.А.Шахмин, М.А.Яговкина

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук,
194021 Санкт-Петербург, Россия

(Получена 3 марта 2009 г. Принята к печати 10 марта 2009 г.)

Возможности комплексной диагностики сложных квантово-размерных гетероструктур на основе соединений AIIIBV, используемых для создания мощных лазеров, продемонстрированы на примере структур с квантовой ямой GaInP/GaAs/AlGaAs, выращенных эпитаксией из металлорганической газовой фазы. Исследования спектров катодолюминесценции позволили оценить состав барьерных слоев, подтвердить существование квантовой ямы и обнаружить аномалии в их излучении, связанные с изменением состава. При изучении структур в просвечивающем электронном микроскопе были определены толщина барьерных слоев, ширина и состав квантовой ямы, а также обнаружены переходные слои вблизи интерфейсов. Точное определение состава барьерных слоев было выполнено методом рентгеноспектрального микроанализа. Полученные величины параметров использовались при интерпетации данных рентгеновской дифракции, которые подтвердили существование переходных областей и обнаружили градиенты состава и частичную релаксацию в основной части слоев. Результатом проведенных комплексных исследований явились взаимосогласованные и обоснованные данные о составе и толщине слоев, а также данные о качестве интерфейсов, частичной релаксации слоев, существовании переходных слоев и градиентов состава.

PACS: 68.35.bj, 68.65.Fg, 68.35.Ct, 78.60.Hk, 68.37.-d, 61.05.cp, 81.07.St

 PDF версия (5.6Mb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2009, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster