ФТП, 2009, том 43, выпуск 7

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Получение слоев нанокристаллического кремния плазмохимическим осаждением из газовой фазы тетрафторида кремния

П.Г.Сенников\kern1.5pt\#$$, С.В.Голубев\kern1pt$$, В.И.Шашкин\kern1pt+, Д.А.Пряхин\kern1pt+, М.Н.Дроздов\kern1pt+,
Б.А.Андреев\kern1pt+, Ю.Н.Дроздов\kern1pt+, А.С.Кузнецов\kern1pt*, Х.-Й.Поль\kern1pt

\# Институт химии высокочистых веществ Российской академии наук,
603950 Нижний Новгород, Россия
$$ Институт прикладной физики Российской академии наук,
603950 Нижний Новгород, Россия
+ Институт физики микроструктур Российской академии наук,
603950 Нижний Новгород, Россия
* ЗАО \glqq Астор\grqq,
188663 пос. Кузьмоловский, Ленинградская область, Россия
VITCON Projectconsult GmbH,
D-07743, Jena, Germany

(Получена 27 ноября 2008 г. Принята к печати 8 декабря 2008 г.)

Сообщается о результатах получения слоев кремния на различных подложках методом плазмохимического осаждения в системе тетрафторид кремния-водород. Сняты спектры излучения плазмы в этой системе. Образцы исследованы методами рентгеновской дифракции и вторичной ионной масс-спектрометрии. Проведено морфологическое изучение поверхности, получены спектры комбинационного рассеяния, спектры пропускания в инфракрасном диапазоне и спектры фотолюминесценции. По фазовому составу слои представляют собой нанокристаллический кремний с размером блоков когерентного рассеяния от 3 до 9 нм в зависимости от условий проведения процесса и обладают интенсивной фотолюминесценцией при комнатной температуре.

PACS: 61.46.Hk, 81.07.Bc

 PDF версия (223Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2009, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster