ФТП, 2009, том 43, выпуск 6

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Импульсное напыление в низкотемпературной плазме тонких пленок с наноразмерной периодичностью свойств

А.А.Сердобинцев\kern1pt+*, А.Г.Веселов+, О.А.Кирясова+, С.А.Портнов*, Д.Н.Браташов*

+ Саратовский филиал Института радиотехники и электроники Российской академии наук,
410019 Саратов, Россия
* Саратовский государственный университет им. Н.Г. Чернышевского,
410012 Саратов, Россия

(Получена 11 ноября 2008 г. Принята к печати 17 ноября 2008 г.)

Исследован процесс формирования пленки в низкотемпературной плазме с импульсным режимом работы. Последовательность импульсов напряжения на распылительной системе содержала серии коротких и длинных импульсов, причем время короткого импульса выбиралось меньше времени установления режима тлеющего разряда. Методом вторично-ионной масс-спектрометрии подтверждено формирование наноразмерной периодичности состава в полученных пленках. Исследована фотолюминесценция синтезированных в импульсном режиме пленок, обнаружена возможность управления характером и интенсивностью люминесценции.

PACS: 78.66.Hf, 81.05.Dz, 81.07.Bc, 81.15.Cd

 PDF версия (553Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2009, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster