ФТП, 2009, том 43, выпуск 5: page 705...

ФТП, 2009, том 43, выпуск 5

Содержание	Предыдущая статья	Следующая статья	Поиск

Автокоррекция характеристик полевых транзисторов
в режиме спонтанной объемно-зарядовой ионной
поляризации подзатворного окисла

А.Г.Ждан, В.Г.Нарышкина, Г.В.Чучева

Институт радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова Российской академии наук,
141190 Фрязино, Россия

(Получена 23 сентября 2008 г. Принята к печати 7 октября 2008 г.)

В кремниевом полевом транзисторе с инверсионным

n

-каналом осуществлена спонтанная объемно-зарядовая ионная поляризация подзатворного окисла в режиме джоулева разогрева прибора током стока

I

_d. Характеристики транзистора, измеренные при комнатной температуре (

T

_r) до и после термополевой обработки, показывают, что локализация положительных ионов (Na

⁺) у границы раздела SiO

₂/Si сопровождается увеличением эффективной подвижности электронов (в

~2.3

раза), крутизны,

I

_d и небольшим уменьшением порогового напряжения (

Delta V_th=0.58 В). При

T=T

_r модифицированные характеристики транзистора сохраняются в течение месяцев; их легко прогнозируемо варьировать изменением

I

_d и продолжительностью нагрева.

PACS: 85.30.Tv, 73.40.Qv, 73.61.Ng, 85.40.Ry