ФТП, 2008, том 42, выпуск 12

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Рост слитков карбида кремния политипа 4H на затравках с плоскостью (10\overline(1)0)

Д.Д.Авров, А.В.Булатов, С.И.Дорожкин, А.О.Лебедев, Ю.М.Таиров

Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования
<< Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет (ЛЭТИ) им. В.И. Ульянова (Ленина)>>,
197376 Санкт-Петербург, Россия
Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук,
194021 Санкт-Петербург, Россия

(Получена 28 апреля 2008 г. Принята к печати 12 мая 2008 г.)

Исследованы особенности выращивания слитков карбида кремния политипа 4H модифицированным методом Лели на затравках с ориентацией поверхности (1010). Показано, что данная плоскость затравки допускает интенсивное разращивание слитка. При скоростях роста менее 0.6 мм/ч получены монокристаллические слитки размером до 60 мм в диаметре. Исследование структуры дефектов показало, что в выращенных слитках практически отсутствуют микропоры, но содержатся дефекты упаковки и микровключения углерода.

PACS: 61.72.Bb, 61.72.Dd, 61.72.Mm, 81.05.Hd, 81.10.Bk

 PDF версия (2.7Mb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2008, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster