ФТП, 2008, том 42, выпуск 9

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Диффузия имплантированного натрия в кислородном кремнии

В.М.Король, С.А.Веденяпин, А.В.Заставной, V.Ovchinnikov\kern1pt*

НИИ физики Южного федерального университета,
344090 Ростов-на-Дону, Россия
* Micro and Nanofabrication Centre, Helsinki University of Technology,
02015 Helsinki, Finland

(Получена 12 ноября 2007 г. Принята к печати 26 ноября 2007 г.)

Впервые изучено влияние кислорода на диффузию имплантированного в кремний натрия в интервале температур 500-850oC. Применялся высокоомный p-Si (rho>1 кОм·см), выращенный методом Чохральского в магнитном поле (mCz) с концентрацией кислорода ~3·1017 см-3. Для сравнения использовался кремний, полученный бестигельной зонной плавкой (fz). Найденные в них температурные зависимости эффективного коэффициента диффузии натрия имеют вид: DmCz[см2/с]=1.12exp(-1.64 эВ/kT) и Dfz[см2/с]=0.024exp(-1.29 эВ/kT) соответственно. Предполагается, что более высокие значения диффузионных параметров в кислородном кремнии обусловлены образованием сложных комплексов, содержащих в своем составе атомы натрия и кислорода.

PACS: 61.72.Tt; 66.30.Jt; 85.40.Ry

 PDF версия (199Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2008, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster