ФТП, 2008, том 42, выпуск 6

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Электрохимическое травление макропор в кремнии с щелевыми затравками

Е.В.Астрова\kern1pt, А.А.Нечитайлов

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук,
194021 Санкт-Петербург, Россия

(Получена 8 октября 2007 г. Принята к печати 15 октября 2007 г.)

Исследованы особенности формирования макропор в n-Si с щелевыми затравками на поверхности. Установлено, что линейные центры нуклеации, в отличие от точечных, формируют наполовину упорядоченную решетку пор: вдоль щелей поры зарождаются случайным образом в процессе самоорганизации, поперек щелей --- следуют заданному периоду a. Среднее расстояние между порами вдоль щелевой линии зависит от a, уменьшаясь при его возрастании. Выбирая оптимальные значения a и плотности фототока травления, можно добиться слияния отдельных пор в единую канавку и получить периодическую структуру щелей с глубокими вертикальными стенками. Рассмотрены некоторые аспекты взаимодействия пор между собой для разного поверхностного рельефа и формирование зон, свободных от зарождения пор.

PACS: 82.45.Vp, 81.05.Rm, 82.47.-a, 82.45.Fk, 82.47.Gh

 PDF версия (2.8Mb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2008, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster