ФТП, 2008, том 42, выпуск 4

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Краевой эффект при электрохимическом травлении кремния

Е.В.Астрова\kern1pt, А.А.Нечитайлов

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук,
194021 Санкт-Петербург, Россия

(Получена 13 августа 2007 г. Принята к печати 21 августа 2007 г.)

На примере получения макропор в кремнии n- и p-типа проводимости анализируются особенности электрохимического травления вблизи границы, отделяющей область соприкосновения пластины с электролитом. Показано, что краевой эффект, заключающийся в ускоренном травлении кремния на краю с маской, зависит от геометрических параметров ячейки и имеет общие закономерности как при травлении n-Si с подсветкой обратной стороны пластины, так и при травлении p-Si без подсветки. Предлагаются методы устранения краевого эффекта.

PACS: 82.45.Vp, 81.05.Rm, 82.47.-a, 82.45.Fk, 82.47.Gh

 PDF версия (1.1Mb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2008, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster