ФТП, 2007, том 41, выпуск 6

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Кинетика вакансий в процессе гетерополитипной
эпитаксии SiC

С.Ю.Давыдов, А.А.Лебедев

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук,
194021 Санкт-Петербург, Россия

(Получена 26 октября 2006 г. Принята к печати 1 ноября 2006 г.)

Предложена модель трансформации политипов SiC в процессе роста эпитаксиального слоя, основанная на изменении во времени концентрации углеродных и кремниевых вакансий в переходном слое, в рамках которой получено соотношение между их временами жизни.

PACS: 61.50.Nw, 61.66.Fn, 61.72.Cc, 61.72.Ji, 68.55.Jk

 PDF версия (97Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2007, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster