ФТП, 2006, том 40, выпуск 11

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Формирование естественного окисла на зеркалах лазерных гетероструктур в системе GaSb/GaInAsSb/GaAlAsSb
в местах выхода слоев с высоким содержанием Al

П.А.Дементьев, М.С.Дунаевский , И.В.Макаренко, В.Н.Петров,
А.Н.Титков, A.N.Baranov *, D.A.Yarekha *, R.Laiho +

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук,
194021 Санкт-Петербург, Россия
* CEM2, Universite de Montpellier II,
34095 Montpellier, France
+ Wihuri Physical Laboratory, Turku University,
FIN 20014 Turku, Finland

(Получена 3 марта 2006 г. Принята к печати 17 марта 2006 г.)

Исследовано развитие в атмосферных условиях естественного окисла на зеркалах лазерных гетероструктур GaSb/GaInAsSb/Ga0.1Al0.9As0.93Sb0.07 в местах выхода на поверхность зеркал слоев с высоким содержанием Al. С этой целью методами сканирующей зондовой микроскопии изучалось изменение со временем топографии лазерных зеркал, полученных скалыванием гетероструктур в атмосферных условиях, а также в сверхвысоком вакууме. Было отслежено окисление слоев Ga0.1Al0.9As0.93Sb0.07 на поверхности зеркал на протяжении более года и показана длительность развития окисла в течение нескольких месяцев, однако с наступающим затем насыщением при толщине окисла на уровне одного микрона. Естественное окисление протекает с увеличением объема окисляемого слоя, что вызывает его возвышение над поверхностью лазерного зеркала примерно на треть полной толщины развивающегося окисла. Исследования в вакууме позволили исключить предполагавшееся ранее проявление здесь эффекта пластического вытягивания слоев с высоким содержанием Al над поверхностью скола в момент скола. На начальной стадии окисления возвышение окисла над поверхностью имеет необычную вогнутую область в верхней части, исчезающую по мере развития окисла. Предложено объяснение наблюдаемой трансформации формы окисла, предполагающее изменение химического состава окисла по мере увеличения его толщины.

PACS: 68.65.FG, 81.05.Ea, 81.65.Mq, 68.37.Ps

 PDF версия (451Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2006, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster