ФТП, 2006, том 40, выпуск 10

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Окислительно-гравиметрическая порометрия макропористого кремния

А.А.Нечитайлов\kern1pt*, Е.В.Астрова\kern1pt*, Ю.А.Кукушкина\kern1pt*, С.Ю.Каменева\kern1pt+

* Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук,
194021 Санкт-Петербург, Россия 1
+ Санкт-Петербургский университет информационных технологий, механики и оптики,
197101 Санкт-Петербург, Россия

(Получена 27 февраля 2006 г. Принята к печати 9 марта 2006 г.)

Предложен и опробован простой неразрушающий метод определения площади внутренней поверхности, пористости, диаметра и плотности пор в макропористом кремнии со сквозными каналами. Пористость p находят из потери массы в процессе анодирования, площадь поверхности на единицу объема Sv --- из массы двуокиси кремния, образующейся на поверхности пор в результате термического окисления. Приводятся соотношения для определения средних диаметра d и плотности пор N из полученных p и Sv. Проведены исследования удельной площади поверхности и пористости в зависимости от удельного сопротивления исходного n-Si в диапазоне rho=3-25 Ом · см в образцах с упорядоченной и самоорганизующейся решеткой макропор. Полученные значения лежат в диапазоне p=27-50%, Sv=2800-6000 см2/см3, d=1.9-6.5 мкм, N=1.4-10· 106 см-2 и согласуются с данными микроскопических исследований.

PACS: 61.43.Gt, 81.05.Rm, 81.65.Mg

 PDF версия (216Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2006, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster