ФТП, 2006, том 40, выпуск 10

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Сопоставление электрических свойств и фотолюминесценции в зависимости от состава слоев SiOx, содержащих
нанокристаллы кремния

И.В.Антонова, М.Б.Гуляев, З.Ш.Яновицкая, В.А.Володин, Д.В.Марин,
М.Д.Ефремов, Y.Goldstein*, J.Jedrzejewski *

Институт физики полупроводников Сибирского отделения Российской академии наук,
630090 Новосибирск, Россия
* Racah Institute of Physics, Hebrew University, Satra, Givant Ram,
91904 Jerusalem, Israel

(Получена 13 февраля 2006 г. Принята к печати 27 февраля 2006 г.)

Проведено сравнение фотолюминесценции и электрических свойств слоя окисла кремния, содержащего нанокристаллы кремния. Окисел, содержащий нанокристаллы кремния, был создан сораспылением диоксида кремния и кремния с последующим отжигом для формирования нанокристаллов. Концентрация избыточного кремния в слое варьировалась вдоль образца в пределах от 6 до 74% по объему. Обнаружено, что величина заряда, определенная по напряжению плоских зон, имеет резко выраженный максимум при содержании избыточного кремния ~26%, при этом максимальный заряд коррелирует с максимальной интенсивностью фотолюминесценции. Дальнейшее повышение содержания избыточного кремния в окисле приводит к уменьшению заряда в окисле, уменьшению интенсивности фотолюминесценции и возникновению перколяционной проводимости.

PACS: 81.15.Cd, 78.67.Bf, 61.46.Bc, 73.63.Bd

 PDF версия (618Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2006, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster