ФТП, 2006, том 40, выпуск 9

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Диффузия хрома в GaAs при равновесном давлении паров мышьяка

С.С.Хлудков, О.Б.Корецкая, Г.Р.Бурнашова

Сибирский физико-технический институт им. В.Д. Кузнецова при Томском государственном университете,
634050 Томск, Россия

(Получена 11 января 2006 г. Принята к печати 24 января 2006 г.)

Исследована диффузия хрома в GaAs при равновесном давлении паров мышьяка. Определена температурная зависимость коэффициента диффузии и растворимости хрома в GaAs. Температурная зависимость коэффициента диффузии и растворимости хрома описывается уравнением Аррениуса с параметрами для коэффициента диффузии: D0=3.1·105 см2/с, E=3.2±0.4 эВ; для растворимости: NS=2.1·1021 см-3, ES=1.0±0.3 эВ. Полученные экспериментальные результаты сравниваются с ранее опубликованными данными по диффузии хрома при большом давлении паров мышьяка и анализируются с позиций диссоциативного механизма миграции атомов хрома в GaAs.

PACS: 66.30.-h, 81.05.Ea

 PDF версия (134Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2006, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster