ФТП, 2006, том 40, выпуск 8

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Особенности нейтронного легирования фосфором кристаллов кремния, обогащенных изотопом 30Si: исследования методом электронного парамагнитного резонанса

П.Г.Баранов, Б.Я.Бер, О.Н.Годисов *, И.В.Ильин, А.Н.Ионов, А.К.Калитеевский *,
М.А.Калитеевский, И.М.Лазебник \wedge, А.Ю.Сафронов*, Х.-Дж.Пол , Х.Риманн+,
Н.В.Абросимов+, П.С.Копьев, А.Д.Буланов\lozenge, А.В.Гусев\lozenge

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук,
194021 Санкт-Петербург, Россия
* НТЦ-Центротех,
198096 Санкт-Петербург, Россия
\wedge Институт ядерной физики им. Б.П. Константинова Российской академии наук,
188300 Гатчина, Россия
VITCON Projectconsult Gmbh,
D-07745 Jena, Germany
+ Leibniz Institute of Crystal Growth,
D-12489 Berlin, Germany
\lozenge Институт химии высокочистых веществ Российской академии наук,
603905 Нижний Новгород, Россия

(Получена 16 ноября 2005 г. Принята к печати 1 декабря 2005 г.)

Исследовано нейтронное трансмутационное легирование кристаллов кремния, обогащенных изотопом 30Si, методом электронного парамагнитного резонанса: наблюдались доноры фосфора и возникающие в процессе нейтронного легирования радиационные дефекты. Исследованы сигналы ЭПР неконтролируемой примеси фосфора в 30Si до нейтронного легирования (концентрация ~1015 см-3) и фосфора, введенного легированием с дозами ~1·1019 см-2 и ~1·1020 см-2 (концентрации P~5·1016 см-3 и ~7·1017 см-3 соответственно). Благодаря резкому сужению линий ЭПР фосфора в 30Si интенсивность сигналов существенно увеличилась, что позволило контролировать фосфор в образцах с малым объемом (до 10-6 мм-3). Разработаны методы контроля концентрации доноров P по сверхтонкой структуре в спектрах ЭПР изолированных атомов P, обменно-связанных пар, троек, четверок и более крупных кластеров доноров P. В области высоких концентраций P, когда сверхтонкая структура исчезает, концентрация доноров P оценивалась по ширине обменно-суженной линии ЭПР.

PACS: 81.40.Wx, 61.80.Hg, 61.82.Fk, 76.30.Da

 PDF версия (459Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2006, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster