ФТП, 2006, том 40, выпуск 8

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Направленная латеральная кристаллизация
силицидной фазы кобальта на поверхности кремния

И.В.Белоусов, Г.В.Кузнецов, О.П.Пчеляков\kern1pt*

Киевский национальный университет им. Т. Шевченко,
01033 Киев, Украина
* Институт физики полупроводников Сибирского отделения Российской академии наук,
630090 Новосибирск, Россия

(Получена 18 октября 2005 г. Принята к печати 21 декабря 2005 г.)

Показано, что центрами локального зарождения силицидной фазы CoSi2 являются структурные дефекты поверхности кремния. В таких дефектах за счет преимущественной диффузии кобальта реализуется локальная экзотермическая реакция, которая инициирует процесс последующей самоподдерживающейся латеральной кристаллизации фазы CoSi2. Показана возможность использования процессов направленного формирования силицидной фазы для изготовления наноразмерных структур без применения операций традиционной литографии и химического травления.

PACS: 68.35.Dv, 65.55.Ln, 81.05.Cy, 81.10.Aj

 PDF версия (153Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2006, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster