ФТП, 2006, том 40, выпуск 3

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Модель проводимости поликристаллического кремния p-типа, учитывающая растекание тока в кристаллитах

В.М.Любимский

Новосибирский государственный технический университет,
630092 Новосибирск, Россия

(Получена 7 июня 2004 г. Принята к печати 31 августа 2005 г.)

Рассмотрена модель электропроводности поликристаллической кремниевой пленки p-типа с учетом растекания тока в кристаллитах. Модель позволяет непротиворечиво и удовлетворительно описать экспериментальные результаты по электропроводности и эффекту пьезосопротивления в поликремнии p-типа до и после импульсного токового отжига. Сделан вывод о том, что площади электрических контактов между кристаллитами близки к геометрическим площадям между ними, тем не менее плотность тока в кристаллитах неоднородна.

PACS: 72.20.Fr, 72.80.Cw

 PDF версия (215Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2006, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster