ФТП, 2005, том 39, выпуск 7

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Водородсодержащие доноры в кремнии --- центры с отрицательной эффективной корреляционной энергией

Ю.М.Покотило, А.Н.Петух, В.В.Литвинов, В.Г.Цвырко

Белорусский государственный университет,
220050 Минск, Белоруссия

(Получена 13 июля 2004 г. Принята к печати 14 октября 2004 г.)

Исследуется перестройка мелких водородсодержащих доноров в Si, которые формировались имплантацией образцов низкоэнергетическими (300 кэВ) ионами водорода с последующей термообработкой при температуре 450oC. Эксперименты проведены на диодах Шоттки Ag--Mo--Si и диодах с мелким (~1 мкм) p+-n-переходом. Концентрация и распределение доноров определялись методом C-V-характеристик на частоте 1.2 МГц. Из анализа температурной зависимости равновесной концентрации электронов установлено, что процесс перестройки водородсодержащих доноров описывается в предположении перезарядки центра с отрицательной эффективной корреляционной энергией (U<0). Трансформация между двумя равновесными конфигурациями двойного водородного донора (DB++=<ftrightarrow DA0) происходит при положении уровня Ферми EF=Ec-0.30 эВ. Обнаружена стимулированная захватом неосновных носителей заряда перестройка доноров из нейтрального в двукратно-заряженное состояние DA0-> DB++ при комнатной температуре.

 PDF версия (175Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2005, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster