ФТП, 2005, том 39, выпуск 7

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Влияние кислорода на образование донорных центров в слоях кремния, имплантированных ионами эрбия и кислорода

О.В.Александров , А.О.Захарьин *, Н.А.Соболев *

Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет \glqq ЛЭТИ\grqq,
197376 Санкт-Петербург, Россия
* Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук,
194021 Санкт-Петербург, Россия

(Получена 16 декабря 2004 г. Принята к печати 20 декабря 2004 г.)

Развита модель образования донорных центров, обусловленных совместной имплантацией ионов Er+ и O+ в кремний с последующим термическим отжигом, представляющих собой многочастичные эрбий-кислородные комплексы ErOn с n>=4. Учитывается конкурирующий процесс образования электрически неактивных кислородных кластеров. Модель позволяет описать зависимость коэффициента активации донорных центров от дозы имплантации ионов кислорода, а также влияние имплантации ионов кислорода и температуры отжига на концентрационные профили донорных центров.

 PDF версия (187Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2005, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster