ФТП, 2005, том 39, выпуск 2

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Рассеяние носителей заряда на границах кристаллитов в пленках поликристаллического кремния

В.А.Гридчин, В.М.Любимский , А.Г.Моисеев

Новосибирский государственный технический университет,
630092 Новосибирск, Россия

(Поступила 4 марта 2004 г. Принята к печати 15 апреля 2004 г.)

-1 Рассмотрено рассеяние носителей заряда на потенциальных барьерах границ зерен в пленках поликристаллического кремния. Анализируется влияние этого механизма рассеяния на подвижность носителей заряда. Наблюдается удовлетворительное согласие между расчетными и экспериментальными подвижностями дырок. Развитая модель может использоваться для рассмотрения других кинетических явлений.

 PDF версия (182Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2005, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster