ФТП, 2005, том 39, выпуск 2

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Влияние импульсного токового отжига на электрофизические характеристики поликристаллического кремния p-типа

В.А.Гридчин, В.М.Любимский

Новосибирский государственный технический университет,
630092 Новосибирск, Россия

(Получена 7 июня 2004 г. Принята к печати 21 июня 2004 г.)

Исследовано влияние импульсного токового отжига на электропроводность, концентрацию, подвижность дырок и пьезосопротивление в поликристаллическом кремнии. Отжиг проводился последовательностью импульсов тока, что позволило уменьшить величину порогового тока. После импульсного отжига наблюдается рост подвижности при неизменяющейся концентрации дырок, а также уменьшение по абсолютной величине коэффициентов продольной и поперечной тензочувствительности. Уменьшение коэффициентов тензочувствительности в результате импульсного отжига не может быть объяснено в рамках существующей модели токового отжига.

 PDF версия (205Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2005, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster