ФТП, 2005, том 39, выпуск 1

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Влияние параметров сапфировых подложек на кристаллическое качество слоев GaN

Ю.Н.Дроздов, Н.В.Востоков, Д.М.Гапонова, В.М.Данильцев, М.Н.Дроздов, О.И.Хрыкин,
А.С.Филимонов*, В.И.Шашкин

Институт физики микроструктур Российской академии наук,
603950 Нижний Новгород, Россия
* Завод синтетических корундов \glqq Монокристалл\grqq,
355044 Ставрополь, Россия

(Получена 1 июня 2004 г. Принята к печати 14 июня 2004 г.)

Исследовано влияние некоторых видов обработки сапфировой подложки на свойства слоев нитрида галлия, полученных методом металлорганической газофазной эпитаксии.

 PDF версия (146Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2005, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster