ФТП, 2004, том 38, выпуск 11

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

К эффекту больших доз при ионной имплантации кремния

Д.И.Тетельбаум , А.И.Герасимов

Научно-исследовательский физико-технический институт
Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского,
603950 Нижний Новгород, Россия

(Получена 23 марта 2004 г. Принята к печати 14 апреля 2004 г.)

Для случая ионной имплантации фосфором кремния выполнен ряд экспериментов с целью выяснения механизма \glqq эффекта больших доз\grqq. На основании экспериментальных данных сделан вывод, что данный эффект обусловлен ослаблением межатомных связей в сильно легированном фосфором аморфном кремнии и носит терморадиационно-стимулированный характер. Перерыв в облучении по достижении дозы аморфизации приводит к стабилизации аморфного состояния.

 PDF версия (74Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2004, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster