ФТП, 2004, том 38, выпуск 11

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Влияние давления и водорода на образование вакансий
и дивакансий в кристаллическом кремнии

В.Г.Заводинский , А.А.Гниденко, А.Мисюк *, Я.Бак-Мисюк +

Институт материаловедения Дальневосточного отделения Российской академии наук,
680042 Хабаровск, Россия
* Институт электронной технологии,
02-668 Варшава, Польша
+ Институт физики Польской академии наук,
02-668 Варшава, Польша

(Получена 30 октября 2003 г. Принята к печати 1 апреля 2004 г.)

Методами теории функционала электронной плотности и псевдопотенциала исследовано влияние водорода и давления на формирование вакансий и дивакансий в кремнии. Показано, что в присутствии водорода энергия формирования вакансий может снижаться на величину от 1.8 до 3.5 эВ, а энергия формирования дивакансий на величину от 2 до 5.4 эВ, и становится возможным спонтанное возникновение вакансий и их комплексов при высоких концентрациях водорода. Вместе с тем наличие водорода делает кремний менее чувствительным к давлению и при больших концентрациях может полностью подавить тенденцию дополнительного образования вакансий под действием давления.

 PDF версия (123Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2004, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster