ФТП, 2003, том 37, выпуск 6

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Влияние резко неравновесных условий на стехиометрию состава слоя теллурида кадмия, конденсируемого из паровой фазы

А.П.Беляев , В.П.Рубец, М.Ю.Нуждин, И.П.Калинкин

Cанкт-Петербургский государственный технологический институт,
198013 Санкт-Петербург, Россия

(Получена 29 октября 2002 г. Принята к печати 20 ноября 2002 г.)

Сообщается о результатах сравнительных исследований стехиометрии состава эпитаксиальных пленок теллурида кадмия, синтезированных из паровой фазы в равновесных и резко неравновесных условиях (на охлажденных подложках). Приводятся данные микрорентгеноструктурного и атомно-абсорбционного анализа пленок и паровой фазы. Выявлено повышение стехиометричности состава при понижении температуры подложки. Показано, что наиболее совершенную кристаллическую структуру имеют пленки, синтезированные в резко неравновесных условиях.

 PDF версия (205Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2003, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster