ФТП, 2003, том 37, выпуск 4

 Содержание  Предыдущая статья  Следующая статья  Поиск  

Двулучепреломление инфракрасного света в искусственном кристалле, полученном с помощью анизотропного травления кремния

Е.В.Астрова , T.S.Perova *, В.А.Толмачев, А.Д.Ременюк, J.Vij *, A.Moore *

Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук,
194021 Санкт-Петербург, Россия
* Department of Electronic \& Electrical Engineering, Trinity College,
Dublin 2, Ireland

(Получена 11 сентября 2002 г. Принята к печати 11 сентября 2002 г.)

Методом жидкостного анизотропного травления кремния получены периодические структуры, представляющие собой глубокие узкие щели с вертикальными стенками. Экспериметально показано, что такая среда обладает свойствами отрицательного одноосного кристалла с оптической осью, лежащей в плоскости пластины, и характеризуется очень высокой оптической анизотропией в средней инфракрасной области спектра. Разность эффективных показателей преломления обыкновенного и необыкновенного лучей Delta n около 1.5.

 PDF версия (414Kb)   Другие выпуски  Другие журналы   Помощь 
Copyright (C) 2003, Коллектив авторов  Разработано...  webmaster