Исследование методом DLTS пластически деформированного германия n-типа после легирования медью
Шевченко С.А.1, Колюбакин А.И.1
1Институт физики твердого тела Российской академии наук, Черноголовка, Московская обл., Россия
Поступила в редакцию: 25 июня 2012 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2013 г.
Классический и альтернативный методы релаксационной емкостной спектроскопии использовались для изучения постоянных времен захвата электронов на атомы замещающей меди Cus2- и тепловой эмиссии электронов с атомов Cus3- в пластически деформированном германии n-типа, легированном примесью меди. Определены энергия активации Esigma и величина сечения захвата электронов, энергия третьего акцепторного уровня E3, обусловленного атомами Cus3-, и энтропия ионизации. Отсутствие уширения уровня E3, экспоненциальная кинетика захвата электронов для длительности заполняющего импульса tp≤sssim1 мс, независимость рекомбинационных параметров атомов Cus2-/3- от плотности дислокаций и низкая их концентрация в деформированных образцах позволяют заключить, что спектры DLTS обусловлены атомами Cus2-/3-, расположенными вне цилиндров Рида.
- E. Simoen, C. Clayes. Ge-based Technologies: From Materials to Devices (N.Y., Elsevier, 2007)
- T. Arguirov, M. Kittler, M. Oehme, N.V. Abrosimov, E. Kasper, J. Schulze. Sol. St. Phenomena, 178--179, 25 (2011)
- H.H. Woodbury, W.W. Tyler. Phys. Rev., 105 (1), 84 (1957)
- E. Simoen, P. Clauws, M. Lamon, J. Vennik. Semicond. Sci. Technol., 1, 53 (1986)
- И.М. Котина, В.В. Курятков, С.Р. Новиков, Т.И. Пирожкова. ФТП, 21 (6), 1039 (1987)
- Y. Kamiura, F. Hashimoto. Jpn. J. Appl. Phys., 28 (5), 763 (1989)
- F.X. Zach, H. Grimmeiss, E.E. Haller. Mater. Sci. Forum, 83--87, 245 (1992)
- Р.И. Глориозова, Л.И. Колесник. ФТП, 27 (4), 545 (1993)
- P. Clauws, G. Huylebroeck, E. Simoen, P. Vermaercke, F. De Smet, J. Vennik. Semicond. Sci. Technol., 4, 910 (1989)
- В.Г. Алексеева, Н.Г. Жданова, М.С. Каган, С.Г. Калашников, Е.Г. Ландсберг. ФТП, 3 (9), 1410 (1969)
- F.H. Baumann, W. Schroter. Phil. Mag. B, 48 (1), 55 (1983)
- W. Schroter, J. Kronewitz, U. Gnauert, E. Kiedel, M. Seibt. Phys. Rev. B, 52, 13 726 (1995)
- M. Seibt, V.V. Kveder, W. Schroter, O. Voss. Phys. Status Solidi a, 202 (5), 911 (2005)
- Е.А. Боброва, Ю.В. Клевков, С.А. Медведев, А.Ф. Плотников. ФТП, 36 (12), 1426 (2002)
- S. Shevchenko, A. Tereshchenko. Sol. St. Phenomena, 156--158, 289 (2010)
- F.H. Baumann, W. Schroter. Phys. Status Solidi a, 79 (2), K123 (1983)
- H. Bracht, N.A. Stolwijk, H. Mehrer. Phys. Rev. B, 43 (8), 14 465 (1991-II)
- V.V. Kveder, Yu.A. Ossipyan, W. Schroter, G. Zoth. Phys. Status Solidi a, 72, 701 (1982)
- F. Poulin, J.C. Bourgoin. Phys. Rev. B, 26 (12), 6788 (1982)
- D.V. Lang. J. Appl. Phys., 45 (4), 3014 (1974)
- А.И. Колюбакин, Ю.А. Осипьян, С.А. Шевченко. ЖЭТФ, 77 (9), 975 (1979)
- A.G. Tweet. Phys. Rev., 106 (2), 221 (1957).
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.