Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Исследование состава, структуры и оптических свойств пленок a-Si1-xCx : H<Er>, легированных эрбием из комплексного соединения Er(pd)3
Кудоярова В.Х.1, Толмачев В.А.1, Гущина Е.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия 
Поступила в редакцию: 16 апреля 2012 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2013 г.
Методами резерфордовского обратного рассеяния, инфракрасной спектроскопии, эллипсометрических исследований и атомно-силовой микроскопии проведено комплексное исследование состава, структуры и оптических свойств аморфных пленок a-Si1-xCx : H<Er>. Технология получения аморфных пленок a-Si1-xCx : H<Er> сочетала в себе метод высокочастотного разложения cмеси газов (SiH4)a+(CH4)b и одновременное термическое распыление комплексного соединения Er(pd)3. Показано, что увеличение CH4 в составе газовой смеси приводит к увеличению содержания углерода в исследуемых пленках, увеличению ширины оптической зоны Eoptg от 1.75 до 2.2 эВ. В инфракрасных спектрах наблюдались изменения состава пленок a-Si1-xCx : H<Er>, которые, в свою очередь, сопровождались изменениями оптических констант. Проведен анализ наблюдаемых эллипсометрических спектров с использованием многопараметрических моделей. В результате проведенного анализа делается вывод о том, что хорошее совпадение экспериментальных и расчетных спектров наблюдается при учете изменяющегося состава аморфных пленок, происходящего при изменении состава газовой смеси. Существование на поверхности исследуемых пленок тонкого (6-8 нм) слоя окисла кремния и справедливость использования двухслоевой модели в расчетах эллиптических измерений подтверждаются проведенными исследованиями структуры методом атомно-силовой микроскопии.
- E.I. Terukov, V.Kh. Kudoyarova, A.N. Kuznetsov, W. Fush, G. Weiser, H. Kuehne, J. Non-Cryst. Sol., 227-230, 488 (1998)
- E.I. Terukov, O.I. Konkov, V.Kh. Kudoyarova, K.V. Koughia, G. Weiser, H. Kuhne, J.P. Kleider, C. Longeaud, R. Bruggemann, J. Non-Cryst. Sol., 266-269, 614 (2000)
- A.G. Kazanskii, H. Mell, G. Weiser, E.I. Terukov. J. Non-Cryst. Sol., 299-302, 704 (2002).
- H. Mell, G. Weiser, E.I. Terukov, V.Kh. Kudoyarova. Phys. Status Solidi C, 5, 1292 (2004)
- G. Gavrilov, A. Krivchitch, V. Lebedev. Nucl. Instr. Meth, A515, 108 (2003)
- Р. Аззам, Н. Башара. Эллипсометрия и поляризованный свет (М., Мир, 1981)
- N.D. Sorokin, Yu. Tairov, V.F. Tsvetkov, M.A. Chernov. Kristalografia, 28, 910 (1993)
- M.H. Brodsky, M. Cardona, J.J. Cuomo, Pys. Rev. B, 16, 3556 (1977)
- G. Lucovsky, R.J. Nemanich, J.C. Knightsl. Phys. Rev. B, 19, 2064 (1979)
- Y. Katayama, T. Shimada. Jpn. J. Appl. Phys., 19, 115 (1980). Suppl. 19--2
- H. Shanks, C.J. Fang, L. Ley, M. Cordona, F.J. Demond, S. Kalbitzerl, Phys. Status Solidi B, 100, 43 (1980)
- A. Skumanich, A. Frova, N.M. Amer, Sol. St. Commun, 54, 597 (1985)
- D. Della Sala, P. Fiorini, A. Frova, A. Gregori, A. Skumanich, N.M. Amer. J. Non-Cryst. Sol., 77/78, 853 (1985)
- Handbook of Optical Constants of Solids, ed. E.D. Palik (Academic Press Ltd., UK, 1985)
- D.A.G. Bruggeman. Ann. Phys., (Leipzig), 24, 636 (1935)
- V. Tolmachev, V. Ivanov-Omskii, T. Zvonareva, A. Nechitailov, V. Shvets, T. Perova, Е. Krutkova. Proc. 14th Int. Conf. on Solid Films and Surfaces (ICSFS) (Dublin, Ireland, 2008).
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
