Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Образование и отжиг метастабильных комплексов межузельный кислород-межузельный углерод в кремнии n- и p-типа
1Белорусский государственный университет, Минск, Республика Беларусь 
2Научно-практический центр Национальной академии наук Беларуси по материаловедению, Минск, Беларусь
3C PH-DT, ЦЕРН, Женева, Швейцария
4Национальный институт физики материалов, RO Магурел, Бухарест, Румыния
2Научно-практический центр Национальной академии наук Беларуси по материаловедению, Минск, Беларусь
3C PH-DT, ЦЕРН, Женева, Швейцария
4Национальный институт физики материалов, RO Магурел, Бухарест, Румыния
Поступила в редакцию: 1 апреля 2014 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2014 г.
Экспериментально показано, что в отличие от стабильной конфигурации комплекса (межузельный углерод-межузельный кислород) (CiOi) его метастабильная конфигурация (CiOi*) не может быть обнаружена в кремниевых p+-n-структурах методом емкостной спектроскопии. Скорости перестройки CiOi*->CiOi практически одинаковы в кремнии n- и p-типа с концентрацией носителей заряда менее 1013 см-3. Установлено, что вероятности одновременного формирования стабильной и метастабильной конфигураций исследуемого комплекса при присоединении атома межузельного углерода к атому межузельного кислорода близки к 50%. Это объясняется ориентационной зависимостью потенциала взаимодействия атома межузельного кислорода с диффундирующим к нему атомом межузельного углерода.
- G. Davies, R.C. Newman. In: Handbook on Semiconductors, ed. by T.S. Moss (Amsterdam, Elsevier Science, 1994), v. 3b, 1557 (1994)
- L.C. Kimerling, V.N. Asom, J.L. Benton, P.J. Drevinsky, C.E. Caefer. Mater. Sci. Forum, 38--41, 141 (1989)
- L.I. Khirunenko, M.G. Sosnin, Yu.V. Pomozov, L.I. Murin, V.P. Markevich, A.R. Peaker, L.M. Almeida, J. Coutinho, V.J.B. Torres. Phys. Rev. B, 78, 155 203 (2008)
- Kh.A. Abdullin, B.N. Mukashev, M.F. Tamendarov, T.B. Tashenov. Phys. Lett. A, 144, 198 (1990)
- П.В. Кучинский, В.М. Ломако, А.П. Петрунин. ФТП, 23, 1625 (1989)
- K. Shinoda, E. Ohta. Appl. Phys. Lett., 61, 2691 (1992)
- A.R. Frederickson, A.S. Karakashian, P.J. Drevinsky, C.E. Caefer. J. Appl. Phys., 65, 3272 (1989)
- P.M. Mooney, L.J. Cheng, M. Suli, J.D. Gerson, J.W. Corbett. Phys. Rev. B, 15, 3836 (1977)
- J. Coutinho, V.P. Markevich, A.R. Peaker, B. Hamilton, S.B. Lastovskii, L.I. Murin, B.J. Svensson, M.J. Rayson, P.R. Briddon. Phys. Rev. B, 86, 174 101 (2012)
- L.F. Makarenko, F.P. Korshunov, S.B. Lastovskii, L.I. Murin, M. Moll. Sol. St. Phenomena, 156--158, 155 (2010)
- A. Nylandsted Larsen, H.J. Pedersen, M.C. Petersen, V. Privitera, Y. Gurimskaya, A. Mesli. J. Appl. Phys., 114, 223 706 (2013)
- A.A. Istratov, H. Hieslmair, C. Flink, E.R. Weber. Rev. Sci. Instrum., 69, 244 (1998)
- Л.Ф. Макаренко, Ф.П. Коршунов, С.Б. Ластовский, Л.И. Мурин. Докл. НАН Беларуси, 51 (5), 52 (2007)
- A. Hallen, N. Keskitalo, F. Masszi, V. Nagl. J. Appl. Phys., 79, 3906 (1996)
- M. Moll. PhD thesis (Hamburg, University of Hamburg, 1999) ISSN 1435--8085
- B. Schmidt, V. Eremin, A. Ivanov, N. Strokan, E. Verbitskaya, Z. Li. J. Appl. Phys., 76, 4072 (1994)
- P. Norton, T. Braggins, H. Levinstein. Phys. Rev. B, 8, 5632 (1973)
- G. Davies. Mater. Sci. Forum, 38--41, 151 (1989).
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
