Герасименко Н.Н.1,2, Тыныштыкбаев К.Б., Старков В.В.3, Токмолдин С.Ж., Гостева Е.А.4, Медетов Н.А.1
1НИУ"Московский государственный институт электронной техники", Зеленоград, Москва, Россия
2Физический институт им. П.Н. Лебедева Российской академии наук, Москва, Россия
3Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН, Черноголовка, Московская обл., Россия
4 Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Москва, Россия