"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Поглощение и ширина оптической щели пленок a-С : H, полученных из ацетиленовой плазмы
Коншина Е.А.1
1Всероссийский научный центр "Государственный оптический институт им. С.И. Вавилова", Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 29 июня 1998 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1999 г.

Пленки аморфного гидрогенизированного углерода (a-C : H) были приготовлены методом химического осаждения паров с использованием тлеющего разряда на постоянном токе. Проанализированы зависимости коэффициента поглощения в интервале длин волн 400/ 2400 нм. Выделены две гауссовоподобные полосы с максимумами ~600 и ~800 нм. Показано, что отношение интегральных интенсивностей (I600/I800) этих полос уменьшается при увеличении напряжения. Сделано сравнение изменений отношения I600/I800 и вариации основных полос в спектрах комбинационного рассеяния для выяснения природы поглощения пленок a-C : H в видимом диапазоне спектра. Для объяснения соотношения между структурой края поглощения и шириной щели Тауца (ET) предложены две простые схемы для прозрачных изолирующих пленок с ET<= 1.5 эВ и "черных" проводящих пленок a-C : H с ET=< 1 эВ.
  1. J. Robertson. Thin Sol. Films, 296, 61 (1997)
  2. B.S. Satyanarayana, A. Hat, W.I. Milne, J. Robertson. Appl. Phys. Lett., 71, N 10, 1430 (1997)
  3. S. Egret, J. Robertson, W.I. Milne, F.J. Clough. D \& RM, 6, 879 (1997)
  4. B. Singh, S. McClelland, F. Tams III, B. Halon, O. Mesker, D. Furst. Appl. Phys. Lett., 57, 2288 (1990)
  5. Е.А. Коншина, А.П. Онохов. ЖТФ, 69, вып. 3 (1999)
  6. I. Wanatabe, S. Hasegawa, Y. Kurata. Japan. J. Appl. Phys., 22, 856 (1982)
  7. D.I. Jones, A.D. Srewart. Phil. Mag. B, 246, 423 (1982)
  8. E. Pascual, C. Serra, J. Esteve, E. Bertran. Surf. Coat. Technol., 247, 263 (1991)
  9. Fangoing Zhang, Guanch Chen, Yafei Zhang, Gong Yu. Phys. St. Sol. (a), 109, K39 (1988)
  10. A. Bubenzer, B. Dischler, G. Branat, P. Koidl. J. Appl. Phys., 54, 4590 (1983)
  11. K. Yamamoto, Y. Ichikawa, T. Nakayama, Y. Tawada. Japan. J. Appl. Phys., 27, 1415 (1988)
  12. C. Serra, E. Pascual, F. Maass, J. Esteve. Surf. Coat. Technol., 247, 87 (1991)
  13. K. Rohwer, P. Hammer, J.-U. Thiele, W. Gissler, P. Blaudeck, T. Frauenheim, D. Meissner. J. Non-Cryst. Sol., 137--138, 843 (1991)
  14. Е.А. Коншина. ФТТ, 37, 1120 (1995)
  15. А.В. Балаков, Е.А. Коншина. ЖТФ, 52, 809 (1982)
  16. J. Tauc, R. Grigorovici, A. Vancu. Phys. St. Sol., 15, 627 (1966)
  17. J. Robertson. Adv. Phys., 35, 317 (1986)
  18. J. Robertson, E.P. O'Reilly. Phys. Rev. B, 35, 2946 (1987)
  19. J. Robertson. Surf. Coat. Technol., 50, 185 (1992)
  20. J. Robertson. D \& RM, 6, 212 (1997)
  21. Th. Frainheim, P. Blaudeck, U. Stephan, G. Jungnickel. Phys. Rev. B, 48, 4823 (1993)
  22. G. Jungnickel, Th. Frainheim, D. Porezag, P. Blaudeck, U. Stephan, R.J. Newport. Phys. Rev. B, 50, 6709 (1994)
  23. R.O. Dillon, J.A. Woollam, B. Katkanant. Phys. Rev. B, 29, 3482 (1984)
  24. M. Ramsteiner, J. Wagner. Appl. Phys. Lett., 51, 1355 (1987)
  25. M. Yoshikawa, G. Katagiri, H. Ishida, A. Ishitani, T. Akamatsu. Appl. Phys. Lett., 52, N 19, 1639 (1988)
  26. M.A. Tamor, J.A. Haire, C.H. Wu, K.C. Hass. Appl. Phys. Lett., 54, N 2, 123 (1989)
  27. А.В. Баранов, Е.А. Коншина. Опт. и спектр., 65, 856 (1988)
  28. Е.А. Коншина, А.В. Баранов. Поверхность, вып. 4, 53 (1989)
  29. J.K. Walters, P. Honeybon, D.W. Huxley, R.J. Newport. Phys. Rev. B, 50, 831 (1994)
  30. M. Jager, J. Gottward, H.W. Spiess, R.J. Newport. Phys. Rev. B, 50, 848 (1994)
  31. J.R. Honeybone, R.J. Newport, J.K. Walters, W.S. Howells, J. Tomkinson. Phys. Rev. B, 50, 839 (1994)
  32. Satoshi Matsunuma, Thin Sol. Films, 306, 17 (1997)
  33. S. Xu, M. Hundhausen, J. Ristein, B. Xan, L. Le. J. Non-Cryst. Sol., 164--166, 1127 (1993)
  34. Е.А. Коншина, А.В. Баранов, В.Б. Яковлев. ЖПС, 48, 957 (1988).!! vadjust !!
  35. О.В. Свердлова. Электронные спектры в органической химии (Л., Химия, 1985) с. 121
  36. D. Dasgupta, F. Demichelis, C.F. Pirri, A. Tagliaferro. Phys. Rev. B, 43, 2131 (1991)
  37. D. Dasgupta, C. De Martino, F. Demichelis, A. Tagliaferro. J. Non-Cryst. Sol., 164--166, 1147 (1993)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.