"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Поглощение и ширина оптической щели пленок a-С : H, полученных из ацетиленовой плазмы
Коншина Е.А.1
1Всероссийский научный центр "Государственный оптический институт им. С.И. Вавилова", Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 29 июня 1998 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1999 г.

Пленки аморфного гидрогенизированного углерода (a-C : H) были приготовлены методом химического осаждения паров с использованием тлеющего разряда на постоянном токе. Проанализированы зависимости коэффициента поглощения в интервале длин волн 400/ 2400 нм. Выделены две гауссовоподобные полосы с максимумами ~600 и ~800 нм. Показано, что отношение интегральных интенсивностей (I600/I800) этих полос уменьшается при увеличении напряжения. Сделано сравнение изменений отношения I600/I800 и вариации основных полос в спектрах комбинационного рассеяния для выяснения природы поглощения пленок a-C : H в видимом диапазоне спектра. Для объяснения соотношения между структурой края поглощения и шириной щели Тауца (ET) предложены две простые схемы для прозрачных изолирующих пленок с ET<= 1.5 эВ и "черных" проводящих пленок a-C : H с ET=< 1 эВ.
  • J. Robertson. Thin Sol. Films, 296, 61 (1997)
  • B.S. Satyanarayana, A. Hat, W.I. Milne, J. Robertson. Appl. Phys. Lett., 71, N 10, 1430 (1997)
  • S. Egret, J. Robertson, W.I. Milne, F.J. Clough. D \& RM, 6, 879 (1997)
  • B. Singh, S. McClelland, F. Tams III, B. Halon, O. Mesker, D. Furst. Appl. Phys. Lett., 57, 2288 (1990)
  • Е.А. Коншина, А.П. Онохов. ЖТФ, 69, вып. 3 (1999)
  • I. Wanatabe, S. Hasegawa, Y. Kurata. Japan. J. Appl. Phys., 22, 856 (1982)
  • D.I. Jones, A.D. Srewart. Phil. Mag. B, 246, 423 (1982)
  • E. Pascual, C. Serra, J. Esteve, E. Bertran. Surf. Coat. Technol., 247, 263 (1991)
  • Fangoing Zhang, Guanch Chen, Yafei Zhang, Gong Yu. Phys. St. Sol. (a), 109, K39 (1988)
  • A. Bubenzer, B. Dischler, G. Branat, P. Koidl. J. Appl. Phys., 54, 4590 (1983)
  • K. Yamamoto, Y. Ichikawa, T. Nakayama, Y. Tawada. Japan. J. Appl. Phys., 27, 1415 (1988)
  • C. Serra, E. Pascual, F. Maass, J. Esteve. Surf. Coat. Technol., 247, 87 (1991)
  • K. Rohwer, P. Hammer, J.-U. Thiele, W. Gissler, P. Blaudeck, T. Frauenheim, D. Meissner. J. Non-Cryst. Sol., 137--138, 843 (1991)
  • Е.А. Коншина. ФТТ, 37, 1120 (1995)
  • А.В. Балаков, Е.А. Коншина. ЖТФ, 52, 809 (1982)
  • J. Tauc, R. Grigorovici, A. Vancu. Phys. St. Sol., 15, 627 (1966)
  • J. Robertson. Adv. Phys., 35, 317 (1986)
  • J. Robertson, E.P. O'Reilly. Phys. Rev. B, 35, 2946 (1987)
  • J. Robertson. Surf. Coat. Technol., 50, 185 (1992)
  • J. Robertson. D \& RM, 6, 212 (1997)
  • Th. Frainheim, P. Blaudeck, U. Stephan, G. Jungnickel. Phys. Rev. B, 48, 4823 (1993)
  • G. Jungnickel, Th. Frainheim, D. Porezag, P. Blaudeck, U. Stephan, R.J. Newport. Phys. Rev. B, 50, 6709 (1994)
  • R.O. Dillon, J.A. Woollam, B. Katkanant. Phys. Rev. B, 29, 3482 (1984)
  • M. Ramsteiner, J. Wagner. Appl. Phys. Lett., 51, 1355 (1987)
  • M. Yoshikawa, G. Katagiri, H. Ishida, A. Ishitani, T. Akamatsu. Appl. Phys. Lett., 52, N 19, 1639 (1988)
  • M.A. Tamor, J.A. Haire, C.H. Wu, K.C. Hass. Appl. Phys. Lett., 54, N 2, 123 (1989)
  • А.В. Баранов, Е.А. Коншина. Опт. и спектр., 65, 856 (1988)
  • Е.А. Коншина, А.В. Баранов. Поверхность, вып. 4, 53 (1989)
  • J.K. Walters, P. Honeybon, D.W. Huxley, R.J. Newport. Phys. Rev. B, 50, 831 (1994)
  • M. Jager, J. Gottward, H.W. Spiess, R.J. Newport. Phys. Rev. B, 50, 848 (1994)
  • J.R. Honeybone, R.J. Newport, J.K. Walters, W.S. Howells, J. Tomkinson. Phys. Rev. B, 50, 839 (1994)
  • Satoshi Matsunuma, Thin Sol. Films, 306, 17 (1997)
  • S. Xu, M. Hundhausen, J. Ristein, B. Xan, L. Le. J. Non-Cryst. Sol., 164--166, 1127 (1993)
  • Е.А. Коншина, А.В. Баранов, В.Б. Яковлев. ЖПС, 48, 957 (1988).!! vadjust !!
  • О.В. Свердлова. Электронные спектры в органической химии (Л., Химия, 1985) с. 121
  • D. Dasgupta, F. Demichelis, C.F. Pirri, A. Tagliaferro. Phys. Rev. B, 43, 2131 (1991)
  • D. Dasgupta, C. De Martino, F. Demichelis, A. Tagliaferro. J. Non-Cryst. Sol., 164--166, 1147 (1993)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.