"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Особенности ближнего и среднего порядков в пленках a-C : H, обнаруживающих фотоиндуцированный эффект
Кудоярова В.Х.1, Аверьянов В.Л.1, Чернышов А.В.1, Звонарева Т.К.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 6 марта 1995 г.
Выставление онлайн: 20 января 1996 г.

Приводятся результаты детального исследования состава и структуры пленок a-C : H, в которых обнаруживается стимулированное ультрафиолетовым излучением изменение оптических свойств. Пленки a-C : H были приготовлены двумя методами: магнетронным распылением графитовой мишени в смеси газов Ar + H2 и высокочастотным разложением CH4 + Ar. Инфракрасная спектроскопия показала, что пленки характеризуются преобладающей моно- или дигидридной формой связи водорода с углеродом в зависимости от условий получения. Концентрация водорода зависела от технологических условий и изменялась от 10 до 20 ат%. Показано, что ультрафиолетовое облучение не приводит к изменению исходной концентрации водорода. Концентрация кислорода в пленках a-C : H до и после ультрафиолетового облучения определялась методом резонансных ядерных реакций. Показано, что концентрация кислорода в облученных образцах в 1.5 раза больше, чем в необлученных. Обсуждается роль кислорода в фотоструктурных превращениях.
  • B. Dishler, A. Bubenzer, P. Koild. Sol. St. Commun., 48, 105 (1983)
  • J.W. Zou, K. Schmidt, K. Reichelt, B. Strizker. J. Vac. Sci. Technol., A6, 3103 (1988)
  • B.T. Kolomiets, V.M. Lyubin. Mater. Bull., 13, 1343 (1978)
  • S. Iida, S. Ohki. Japan J. Appl. Phys., 21, L62 (1982)
  • В.Л. Аверьянов, Т.К. Звонарева, А.В. Чернышев, С.Г. Ястребов. ФТТ, 33, 3410 (1991)
  • J.I.B Wilson, A. Qayyum, S. AL-Sabbagh, M. Jubber, P. John. J. Non-Cryst. Sol., 115, 84 (1989)
  • G.M. Gusinskii, I.V. Kudryavtsev. V.Kh. Kudoyarova, O.A. Naidenov, L.A. Rassadin. Semicond. Sci. Technol., 7, 881 (1992)
  • G. Foti, J.W. Mayer, E. Rimini. In: \it Ion Beam Handbook for Material Analysis, ed. by J.W. Mayer, E. Rimini (N.Y., Acad. Press., 1977) part 1, p. 21
  • D.R. McKenzie, R.C. McPhedran, N. Savvides, D.J.H. Cockayne. Thin. Sol. Films, 108, 247 (1983)
  • F.W. Smith. J. Appl. Phys., 55, 764 (1984)
  • R.O. Dillon, A. Woollam. Phys. Rev. B, 29, 3482 (1984)
  • F. Touinstra, J.L. Koenig. J. Chem. Phys., 53, 1126 (1970)
  • H. Shimizu, S. Nakao, H. Kusakabe, N. Noda. J. Non-Cryst. Sol. 114, 196 (1989)
  • J. Wagner, M. Ramsteiner, Ch. Wild, P. Koild. Phys. Rev. B, 40, 1817 (1989)
  • J. Robertson, E.P. O'Reilly. Phys. Rev. B, 35, 2946 (1987)
  • J. Robertson. Adv. Phys., 35, 317 (1986)
  • J. Bullot, M.P. Schmidt. Phys. St. Sol. (b), 143, 345 (1987)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.