Свойства пленок титаната бария-стронция на кремниевой подложке, нанесенных методом высокочастотного катодного распыления
Широков В.Б.
1,2, Зинченко С.П.
1,2, Киселева Л.И.
1, Павленко А.В.
1,21Федеральный исследовательский центр Южный научный центр РАН, Ростов-на-Дону, Россия
2Южный федеральный университет, Ростов-на-Дону, Россия
Email: shirokov-vb@rambler.ru
Выставление онлайн: 19 ноября 2018 г.
Методом высокочастотного катодного распыления мишени в атмосфере кислорода получены тонкие пленки твердого раствора Ba0.6Sr0.4TiO3 на поверхности монокристаллического кремния среза (001). Проведены исследования их кристаллической структуры, микроструктуры и оптических характеристик. Показано, что пленки являются оптически анизотропными, поликристаллическими, с преимущественным направлением оси с перпендикулярно подложке. Оси а и b в плоскости положки не имеют выделенного направления. Установлено, что между пленкой и подложкой в процессе синтеза образуется буферный слой толщиной порядка 20 nm, оптически эквивалентный оксиду кремния.
- Воротилов К.А., Сигов А.С. // ФТТ. 2012. Т. 54. В. 5. С. 843--848
- Мухортов В.М., Юзюк Ю.И. Гетероструктуры на основе наноразмерных сегнетоэлектрических пленок: получение, свойства и применение. Ростов-на-Дону: Изд-во Южного научного центра РАН, 2008. 224 с
- McKee R.A., Walker F.J., Chisholm M.F. // Phys. Rev. Lett. 1998. V. 81. N 14. P. 3014--3017
- Vaithyanathan V., Lettieri J., Tian W., Sharan A., Vasudevarao A., Li Y.L., Kochhar A., Ma H., Levy J., Zschack P., Woicik J.C., Chen L.Q., Gopalan V., Schlom D.G. // J. Appl. Phys. 2006. V. 100. P. 024108
- Dubourdieu C., Bruley J., Arruda T.M., Posadas A., Jordan-Sweet J., Frank M.M., Cartier E., Frank D.J., Kalinin S.V., Demkov A.A., Narayanan V. // Nature Nanotechnol. 2013. V. 8. P. 748--754
- Ковтун А.П., Зинченко С.П., Павленко А.В., Толмачев Г.Н. // Письма в ЖТФ. 2016. Т. 42. В. 11. С. 48--55
- Razumnaya A.G., Mikheykin A.S., Lukyanchuk I.A., Shirokov V.B., Golovko Y.I., Mukhortov V.M., Marssi M.E., Yuzyuk Yu.I. // Phys. Status Solidi B. 2017. V. 254. P. 1600413
- Dubourdieu C., Gelard I., Salicio O., Saint-Girons G., Vilquin B., Hollinger G. // Int. J. Nanotechnol. 2010. V. 7. P. 320--347
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
