Вышедшие номера
Home » Письма в журнал технической физики » Год 2024, выпуск 4 » Статья стр. 31
<<<>>>
Распределение давления газовой среды в распылительной системе ионно-плазменного осаждения
Вольпяс В.А.1, Платонов Р.А.1, Карзин В.В.1, Легкова Т.К.1, Иванов А.Д.1, Сосунов А.М.1, Козырев А.Б.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Email: mlpeltech@gmail.com
Поступила в редакцию: 27 сентября 2023 г.
В окончательной редакции: 27 сентября 2023 г.
Принята к печати: 15 ноября 2023 г.
Выставление онлайн: 31 января 2024 г.
PDF версия
Предложен метод определения величины давления газовой среды непосредственно в области дрейфа распыленных атомов мишени при ионно-плазменном осаждении тонких пленок. На примере распыления одноатомных мишеней титана и ниобия получены расчетные (моделирование методом Монте-Карло) и экспериментальные зависимости скорости их осаждения от давления рабочего газа. Сравнение этих результатов позволило определить распределение величины давления газовой среды в области дрейфа распыленных атомов мишень-подложка. Продемонстрировано радикальное различие между значениями показания датчика давления (0.6 Pa) и реальным скорректированным давлением (от 5 Pa в зоне распыления мишени до 1 Pa в зоне осаждения на подложке). Ключевые слова: ионно-плазменное осаждение пленок, корректность определения давления рабочего газа.
  1. C. Vallee, M. Bonvalot, S. Belahcen, T. Yeghoyan, M. Jaffal, R. Vallat, A. Chaker, G. Lefevre, S. David, A. Bsiesy, N. Posseme, R. Gassilloud, A. Granier, J. Vac. Sci. Technol. A, 38 (3), 033007 (2020). DOI: 10.1116/1.5140841
  2. W. Deng, C. Jin, C. Li, S. Yao, B. Yu, Y. Liu, Surf. Coat. Technol., 395, 125691 (2020). DOI: 10.1016/j.surfcoat.2020.125691
  3. H.-J. Choi, J.-U. Woo, H.-G. Hwang, D.-S. Kim, M. Sanghadasa, S. Nahm, J. Eur. Ceram. Soc., 41 (4), 2559 (2021). DOI: 10.1016/j.jeurceramsoc.2020.12.027
  4. F. Ahmad, A. Lakhtakia, P.B. Monk, Appl. Opt., 59 (4), 1018 (2020). DOI: 10.1364/AO.381246
  5. H. Bergeron, L.M. Guiney, M.E. Beck, C. Zhang, V.K. Sangwan, C.G. Torres-Castanedo, J.T. Gish, R. Rao, D.R. Austin, S. Guo, D. Lam, K. Su, P.T. Brown, N.R. Glavin, B. Maruyama, M.J. Bedzyk, V.P. Dravid, M.C. Hersam, Appl. Phys., 7 (4), 041402 (2020). DOI: 10.1063/5.0023080
  6. M.D. Nguyen, Y.A. Birkholzer, E.P. Houwman, G. Koster, G. Rijnders, Adv. Energy Mater., 12 (29), 2200517 (2022). DOI: 10.1002/aenm.202200517
  7. S. Moradi, S. Kundu, M. Rezazadeh, V. Yeddu, O. Voznyy, M.I. Saidaminov, Commun. Mater., 3 (1), 13 (2022). DOI: 10.1038/s43246-022-00235-5
  8. J. Sakai, J.M.C. Roque, P. Vales-Castro, J. Padilla-Pantoja, G. Sauthier, G. Catalan, J. Santiso, Coatings, 10 (6), 540 (2020). DOI: 10.3390/coatings10060540
  9. S. Khan, E.M. Tag-ElDin, A. Majid, M. Alkhedher, Coatings, 12 (9), 1300 (2022). DOI: 10.3390/coatings12091300
  10. Yu.Zh. Tuleushev, V.N. Volodin, Е.А. Zhakanbayev, I.D. Gorlachyov, E.E. Suslov, Vacuum, 208, 111711 (2023). DOI: 10.1016/j.vacuum.2022.111711
  11. А.Г. Лучкин, Вестн. КГТУ, N 16, 121 (2011)
  12. В.А. Вольпяс, П.М. Дымашевский, ЖТФ, 71 (11), 1 (2001). [V.A. Volpyas, P.M. Dymashevskii, Tech. Phys., 46 (11), 1347 (2001). DOI: 10.1134/1.1418494]
  13. В.А. Вольпяс, А.Б. Козырев, ЖЭТФ, 140 (1), 196 (2011). [V.A. Volpyas, A.B. Kozyrev, JETP, 113 (1), 172 (2011). DOI: 10.1134/S1063776111060227].
  14. V.A. Volpyas, A.Y. Komlev, R.A. Platonov, A.B. Kozyrev, Phys. Lett. A, 378 (43), 3182 (2014). DOI: 10.1016/j.physleta.2014.09.014
  15. P.K. Petrov, V.A. Volpyas, R.A. Chakalov, Vacuum, 52 (4), 427 (1999). DOI: 10.1016/S0042-207X(98)00326-1
  16. В.А. Вольпяс, Е.К. Гольман, ЖТФ, 70 (3), 13 (2000). [V.A. Vol'pyas, E.K. Gol'man, Tech. Phys., 45 (3), 298 (2000). DOI: 10.1134/1.1259619]
  17. А.Б. Козырев, В.А. Вольпяс, А.В. Тумаркин, А.Г. Алтынников, А.Е. Комлев, Р.А. Платонов, П.М. Трофимов, Письма в ЖТФ, 49 (4), 28 (2023). DOI: 10.21883/PJTF.2023.04.54523.19429 [A.B. Kozyrev, V.A. Volpyas, A.V. Tumarkin, A.G. Altynnikov, A.E. Komlev, R.A. Platonov, P.M. Trofimov, Tech. Phys. Lett., 49 (2), 62 (2023). DOI: 10.21883/TPL.2023.02.55374.19429].

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme