Вышедшие номера
Распределение давления газовой среды в распылительной системе ионно-плазменного осаждения
Вольпяс В.А.1, Платонов Р.А.1, Карзин В.В.1, Легкова Т.К.1, Иванов А.Д.1, Сосунов А.М.1, Козырев А.Б.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Email: mlpeltech@gmail.com
Поступила в редакцию: 27 сентября 2023 г.
В окончательной редакции: 27 сентября 2023 г.
Принята к печати: 15 ноября 2023 г.
Выставление онлайн: 31 января 2024 г.

Предложен метод определения величины давления газовой среды непосредственно в области дрейфа распыленных атомов мишени при ионно-плазменном осаждении тонких пленок. На примере распыления одноатомных мишеней титана и ниобия получены расчетные (моделирование методом Монте-Карло) и экспериментальные зависимости скорости их осаждения от давления рабочего газа. Сравнение этих результатов позволило определить распределение величины давления газовой среды в области дрейфа распыленных атомов мишень-подложка. Продемонстрировано радикальное различие между значениями показания датчика давления (0.6 Pa) и реальным скорректированным давлением (от 5 Pa в зоне распыления мишени до 1 Pa в зоне осаждения на подложке). Ключевые слова: ионно-плазменное осаждение пленок, корректность определения давления рабочего газа.