Письма в журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2025
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Распределение давления газовой среды в распылительной системе ионно-плазменного осаждения
Вольпяс В.А.1, Платонов Р.А.1, Карзин В.В.1, Легкова Т.К.1, Иванов А.Д.1, Сосунов А.М.1, Козырев А.Б.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия 
Email: mlpeltech@gmail.com
Поступила в редакцию: 27 сентября 2023 г.
В окончательной редакции: 27 сентября 2023 г.
Принята к печати: 15 ноября 2023 г.
Выставление онлайн: 31 января 2024 г.
Предложен метод определения величины давления газовой среды непосредственно в области дрейфа распыленных атомов мишени при ионно-плазменном осаждении тонких пленок. На примере распыления одноатомных мишеней титана и ниобия получены расчетные (моделирование методом Монте-Карло) и экспериментальные зависимости скорости их осаждения от давления рабочего газа. Сравнение этих результатов позволило определить распределение величины давления газовой среды в области дрейфа распыленных атомов мишень-подложка. Продемонстрировано радикальное различие между значениями показания датчика давления (0.6 Pa) и реальным скорректированным давлением (от 5 Pa в зоне распыления мишени до 1 Pa в зоне осаждения на подложке). Ключевые слова: ионно-плазменное осаждение пленок, корректность определения давления рабочего газа.
- C. Vallee, M. Bonvalot, S. Belahcen, T. Yeghoyan, M. Jaffal, R. Vallat, A. Chaker, G. Lefevre, S. David, A. Bsiesy, N. Posseme, R. Gassilloud, A. Granier, J. Vac. Sci. Technol. A, 38 (3), 033007 (2020). DOI: 10.1116/1.5140841
- W. Deng, C. Jin, C. Li, S. Yao, B. Yu, Y. Liu, Surf. Coat. Technol., 395, 125691 (2020). DOI: 10.1016/j.surfcoat.2020.125691
- H.-J. Choi, J.-U. Woo, H.-G. Hwang, D.-S. Kim, M. Sanghadasa, S. Nahm, J. Eur. Ceram. Soc., 41 (4), 2559 (2021). DOI: 10.1016/j.jeurceramsoc.2020.12.027
- F. Ahmad, A. Lakhtakia, P.B. Monk, Appl. Opt., 59 (4), 1018 (2020). DOI: 10.1364/AO.381246
- H. Bergeron, L.M. Guiney, M.E. Beck, C. Zhang, V.K. Sangwan, C.G. Torres-Castanedo, J.T. Gish, R. Rao, D.R. Austin, S. Guo, D. Lam, K. Su, P.T. Brown, N.R. Glavin, B. Maruyama, M.J. Bedzyk, V.P. Dravid, M.C. Hersam, Appl. Phys., 7 (4), 041402 (2020). DOI: 10.1063/5.0023080
- M.D. Nguyen, Y.A. Birkholzer, E.P. Houwman, G. Koster, G. Rijnders, Adv. Energy Mater., 12 (29), 2200517 (2022). DOI: 10.1002/aenm.202200517
- S. Moradi, S. Kundu, M. Rezazadeh, V. Yeddu, O. Voznyy, M.I. Saidaminov, Commun. Mater., 3 (1), 13 (2022). DOI: 10.1038/s43246-022-00235-5
- J. Sakai, J.M.C. Roque, P. Vales-Castro, J. Padilla-Pantoja, G. Sauthier, G. Catalan, J. Santiso, Coatings, 10 (6), 540 (2020). DOI: 10.3390/coatings10060540
- S. Khan, E.M. Tag-ElDin, A. Majid, M. Alkhedher, Coatings, 12 (9), 1300 (2022). DOI: 10.3390/coatings12091300
- Yu.Zh. Tuleushev, V.N. Volodin, Е.А. Zhakanbayev, I.D. Gorlachyov, E.E. Suslov, Vacuum, 208, 111711 (2023). DOI: 10.1016/j.vacuum.2022.111711
- А.Г. Лучкин, Вестн. КГТУ, N 16, 121 (2011)
- В.А. Вольпяс, П.М. Дымашевский, ЖТФ, 71 (11), 1 (2001). [V.A. Volpyas, P.M. Dymashevskii, Tech. Phys., 46 (11), 1347 (2001). DOI: 10.1134/1.1418494]
- В.А. Вольпяс, А.Б. Козырев, ЖЭТФ, 140 (1), 196 (2011). [V.A. Volpyas, A.B. Kozyrev, JETP, 113 (1), 172 (2011). DOI: 10.1134/S1063776111060227].
- V.A. Volpyas, A.Y. Komlev, R.A. Platonov, A.B. Kozyrev, Phys. Lett. A, 378 (43), 3182 (2014). DOI: 10.1016/j.physleta.2014.09.014
- P.K. Petrov, V.A. Volpyas, R.A. Chakalov, Vacuum, 52 (4), 427 (1999). DOI: 10.1016/S0042-207X(98)00326-1
- В.А. Вольпяс, Е.К. Гольман, ЖТФ, 70 (3), 13 (2000). [V.A. Vol'pyas, E.K. Gol'man, Tech. Phys., 45 (3), 298 (2000). DOI: 10.1134/1.1259619]
- А.Б. Козырев, В.А. Вольпяс, А.В. Тумаркин, А.Г. Алтынников, А.Е. Комлев, Р.А. Платонов, П.М. Трофимов, Письма в ЖТФ, 49 (4), 28 (2023). DOI: 10.21883/PJTF.2023.04.54523.19429 [A.B. Kozyrev, V.A. Volpyas, A.V. Tumarkin, A.G. Altynnikov, A.E. Komlev, R.A. Platonov, P.M. Trofimov, Tech. Phys. Lett., 49 (2), 62 (2023). DOI: 10.21883/TPL.2023.02.55374.19429].
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
