Полевой транзистор с графеновым каналом и эпитаксиальным слоем фторида кальция в роли подзатворного диэлектрика
РФФИ, АНФ_а, 21-52-14007
Минобрнауки России, 075-15-2020-790
Илларионов Ю.Ю.
1,2, Банщиков А.Г.
1, Knobloch T.
2, Иванов И.А.
1, Grasser T.
2, Соколов Н.С.
1, Векслер М.И.
11Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Институт микроэлектроники Технического университета Вены, Вена, Австрия
Email: vexler@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 26 сентября 2023 г.
В окончательной редакции: 26 сентября 2023 г.
Принята к печати: 15 ноября 2023 г.
Выставление онлайн: 31 января 2024 г.
Впервые изготовлены образцы полевых транзисторов для "двумерной" электроники на основе сочетания графена (материала канала) и эпитаксиального фторида кальция (изолирующего затвор материала). Измерены стандартные для приборов данного типа характеристики, подтвердившие работоспособность этих приборов. Исследование можно рассматривать как шаг к созданию транзисторов с новыми материалами, перспективными для дальнейшего масштабирования элементов. Одна из ближайших задач - снижение разброса характеристик приборных структур. Ключевые слова: 2D-электроника, полевой транзистор, графен, фторид кальция.
- M. Lemme, D. Akinwande, C. Huyghebaert, C. Stampfer, Nat. Commun., 13, 1392 (2022). DOI: 10.1038/s41467-022-29001-4
- A. Beraud, M. Sauvage, C. Bazan, M. Tie, A. Bencherif, D. Bouilly, Analyst, 146, 403 (2021). DOI: 10.1039/d0an01661f
- Yu.Yu. Illarionov, T. Knobloch, M. Jech, M. Lanza, D. Akinwande, M.I. Vexler, T. Mueller, M. Lemme, G. Fiori, F. Schwierz, T. Grasser, Nat. Commun., 11, 3385 (2020). DOI: 10.1038/s41467-020-16640-8
- F. Hui, M. Villena, W. Fang, A.-Y. Lu, J. Kong, Y. Shi, X. Jing, K. Zhu, M. Lanza, 2D Mater., 5, 031011 (2018). DOI: 10.1088/2053-1583/aac615
- M. Tsutsui, M. Watanabe, M. Asada, Jpn. J. Appl. Phys., 38 (8B), L920 (1999). DOI: 10.1143/JJAP.38.L920
- W. Hayes, Crystals with the fluorite structure (Clarendon Press, 1974)
- S. Miyamoto, H. Matsudaira, H. Ishizaka, K. Nakazawa, H. Taniuchi, H. Umezawa, M. Tachikia, H. Kawarada, Diamond Rel. Mater., 12, 399 (2003). DOI: 10.1016/S0925-9635(03)00034-7
- Yu.Yu. Illarionov, A.G. Banshchikov, D.K. Polyushkin, S. Wachter, T. Knobloch, M. Thesberg, M. Waltl, M. Stoeger-Pollach, A. Steiger-Thirsfeld, M.I. Vexler, N.S. Sokolov, T. Mueller, T. Grasser, Nat. Electron., 2, 230 (2019). DOI: 10.1038/s41928-019-0256-8
- A. Ishizaka, Y. Shiraki, J. Electrochem. Soc., 133, 666 (1986). DOI: 10.1149/1.2108651
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
