"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Синтез и хеморезистивная чувствительность к водороду наноструктурированных пленок CuO
Государственное задание, ES-2021-0026
Федоров Л.Ю. 1,2, Ушаков А.В. 1,2, Карпов И.В. 1,2
1Федеральный исследовательский центр Красноярский научный центр СO РАН, Красноярск, Россия
2Сибирский федеральный университет, Красноярск, Россия
Email: 1401-87@mail.ru
Поступила в редакцию: 23 марта 2022 г.
В окончательной редакции: 24 мая 2022 г.
Принята к печати: 31 мая 2022 г.
Выставление онлайн: 26 июня 2022 г.

Высокопористые пленки CuO толщиной до 1 μm, состоящие из вертикально ориентированных нанопроволок диаметром ~ 50 nm, были синтезированы в процессе испарения меди в вакуумно-дуговом разряде в аргон-кислородной атмосфере с последующим осаждением на нагреваемые подложки. Фазовый состав и поликристаллическая природа пленок подтверждены методом рентгеновской дифракции. На примере газообразного водорода (H2) при рабочей температуре датчика 300oC исследованы сенсорные характеристики пленок CuO. Описан качественный механизм влияния газа на электрические характеристики наноструктурированной пленки CuO. Ключевые слова: оксид меди, вакуумная дуга, нанопроволоки, газовый сенсор.
  1. S. Steinhauer, E. Brunet, T. Maier, G.C. Mutinati, A. Kock, O. Freudenberg, C. Gspan, W. Grogger, A. Neuhold, R. Resel, Sensors Actuators B, 187, 50 (2013). DOI: 10.1016/j.snb.2012.09.034
  2. O. Lupan, V. Postica, V. Cretu, N. Wolff, V. Duppel, L. Kienle, R. Adelung, Phys. Status Solidi (RRL), 10 (3), 260 (2016). DOI: 10.1002/pssr.201510414
  3. A. Rydosz, Coatings, 8 (12), 425 (2018). DOI: 10.3390/coatings8120425
  4. S. Steinhauer, Chemosensors, 9 (3), 51 (2021). DOI: 10.3390/chemosensors9030051
  5. G.N. Gerasimov, V.F. Gromov, O.J. Ilegbusi, L.I. Trakhtenberg, Sensors Actuators B, 240, 613 (2017). DOI: 10.1016/j.snb.2016.09.007
  6. A.A. Lepeshev, N.A. Drokin, A.V. Ushakov, I.V. Karpov, L.Yu. Fedorov, E.P. Bachurina, J. Mater. Sci.: Mater. Electron., 29 (14), 12118 (2018). DOI: 10.1007/s10854-018-9319-2
  7. A.V. Ushakov, I.V. Karpov, A.A. Lepeshev, M.I. Petrov, Vacuum, 133 (11), 25 (2016). DOI: 10.1016/j.vacuum.2016.08.007
  8. Л.Ю. Федоров, И.В. Карпов, А.В. Ушаков, А.А. Лепешев, Перспективные материалы, N 8, 60 (2017). [L.Yu. Fedorov, I.V. Karpov, A.V. Ushakov, A.A. Lepeshev, Inorg. Mater. Appl. Res., 9 (2), 323 (2018). DOI: 10.1134/S2075113318020107]
  9. Y.-H. Choi, D.-H. Kim, S.-H. Hong, K.S. Hong, Sensors Actuators B, 178, 395 (2013). DOI: 10.1016/j.snb.2012.12.096
  10. O. Lupan, V. Postica, N. Ababii, M. Hoppe, V. Cretu, I. Tiginyanu, V. Sontea, Th. Pauporte, B. Viana, R. Adelung, Microelectron. Eng., 164 (10), 63 (2016). DOI: 10.1016/j.mee.2016.07.008
  11. L.D. Duc, T.L.T. Dang, N. Van Duy, N.D. Hoa, N. Van Hieu, Physica E, 58, 16 (2014). DOI: 10.1016/j.physe.2013.11.013
  12. J.Y. Kim, J.A. Rodriguez, J.C. Hanson, A.I. Frenkel, P.L. Lee, J. Am. Chem. Soc., 125 (35), 10684 (2003). DOI: 10.1021/ja0301673

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.