Вышедшие номера
Селективные сенсоры двуокиси азота на основе тонких пленок оксида вольфрама при воздействии оптического излучения
Переводная версия: 10.1134/S1063785019100171
Алмаев А.В.1, Яковлев Н.Н.1, Черников Е.В.1, Толбанов О.П.1
1Национальный исследовательский Томский государственный университет, Томск, Россия
Email: almaev_alex@mail.ru
Поступила в редакцию: 3 июня 2019 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2019 г.

Показана возможность селективного детектирования NO2 в воздухе начиная с концентрации 1 ppm сенсорами на основе тонких пленок Au/WO3 : Au при замене постоянного нагрева облучением диодом с длиной волны максимума интенсивности излучения 400 nm. Активация облучением фотодесорбции на порядок снижает времена отклика сенсоров при воздействии NO2. Установлено, что воздействие высокой влажности в условиях облучения сенсоров при комнатной температуре приводит к повышению отклика на NO2 за счет появления дополнительных центров адсорбции. Отсутствие отклика сенсоров на восстановительные газы и изменение концентрации кислорода в газовой смеси вызвано фотодесорбцией хемосорбированных частиц O2- при взаимодействии с генерируемыми при собственных переходах дырками в приповерхностной части WO3. Ключевые слова: оксид вольфрама, двуокись азота, тонкие пленки, магнетронное распыление, оптическое излучение.