Структурная инженерия вакуумно-дуговых покрытий системы MoN-CrN
Береснев В.М., Соболь О.В., Погребняк А.Д., Гранкин С.С., Столбовой В.А., Турбин П.В., Мейлехов А.А., Арсеенко М.Ю.
Поступила в редакцию: 4 сентября 2015 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2016 г.
Путем использования в качестве составляющих слоев переходных металлов Mo и Cr с относительно невысокой теплотой образования нитридов показаны возможности структурной инженерии в многослойной MoN/CrN-системе при изменении давления реакционного газа азота PN и и подачи на подложку отрицательного потенциала смещения -Us. Установлено, что изменением PN от 7·10-4 до 3·10-3 Torr можно получить два разных фазово-структурных состояния: при низком давлении формируется многослойный композит неизоструктурного типа с гексагональной кристаллической решеткой в слоях нитрида хрома и с решеткой кубического типа в слоях нитрида молибдена, при высоком давлении происходит формирование изоструктурного состояния с кубической решеткой в нитридных слоях обоих типов. Наличие двух типов структурных состояний позволяет изменять твердость многослойного покрытия, которая в его изоструктурном состоянии достигает 38 GPa.
- Xie Z.H., Hoffman M., Munroe P., Singh R., Bendavid A., Martin P.J. // J. Mater. Res. 2007. V. 22. N 8. P. 2312--2318
- Sobol' O.V., Andreev A.A., Grigoriev S.N., Gorban' V.F., Volosova M.A., Aleshin S.V., Stolbovoi V.A. // Met. Sci. Heat Treat. 2012. V. 54. N 3--4. P. 195--203
- Lackner J.M., Major L., Kot M. // Bull. Polish Academy Sci. Techn. Sci. 2011. V. 59. N 3. P. 343--355
- Gilewicz A., Warcholinski B. // Tribology Int. 2014. V. 80. P. 34--40
- Ertas M., Onel A.C., Ekinci G., Toydemir B., Durdu S., Usta M., Colakerol L. // Int. J. Chem., Nucl. Mater. Metall. Eng. 2015. V. 9. N 1. P. 53--57
- Sobol' O.V., Andreev A.A., Stolbovoi V.A., Fil'chikov V.E. // Tech. Phys. Lett. 2012. V. 38. N 2. P. 168--171
- Гугля А.Г., Неклюдов И.М. // Успехи физики металлов. 2005. Т. 6. С. 197--232
- Погребняк А.Д., Шпак А.П., Азаренков Н.А., Береснев В.М. // УФН. 2009. Т. 179. N 1. С. 35--64
- Beresnev V.M., Sobol' O.V., Pogrebnjak A.D., Turbin P.V., Litovchenko S.V. // Tech. Phys. 2010. V. 55. N 6. P. 871--873
- Андреев А.А., Саблев Л.П., Григорьев С.Н. Вакуумно-дуговые покрытия. Харьков: ННЦ ХФТИ, 2010. 318 с
- Klepikov V.F., Lonin Yu.F., Lytvynenko V.V., Pashenko A.V., Ponomarev A.G., Uvarov V.V., Uvarov V.T., Sheremet V.I. // Probl. Atomic Sci. Technol. Ser. Nucl. Phys. Inv. 2008. N 5 (50). P. 91--95.
- Batracov А.B., Bazaleev M.I., Donets S.E., Klepikov V.F., Lytvynenko V.V., Lonin Yu.F., Ponomarev А.G., Uvarov V.V., Uvarov V.T. // Probl. Atomic Sci. Technol. Ser. Nucl. Phys. Inv. 2013. N 6 (88). P. 225--229
- Nanostructured coatings / Eds: Albano Cavaleiro, Jeff Th.M. De Hosson. Springer, 2006. 652 р
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук