"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние энергии напыляемых ионов на структуру, состав и свойства мультислойных ионно-плазменных покрытий Ti-Al-Si-N
РФФИ, 16-03-00227
Министерство образования и науки Российской Федераци, Проектная часть Госзадания в сфере научной деятельности, 11.1108.2014/К
Блинков И.B. 1, Волхонский А.О. 1, Белов Д.С. 1, Сергевнин В.С. 1, Черногор А.В.1
1Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС", Москва
Email: biv@misis.ru
Поступила в редакцию: 2 декабря 2015 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2016 г.

Обнаружено влияние энергии напыляемых частиц на формирование мультислойной архитектуры покрытий с чередующимися слоями нанокристаллического TiN и аморфного Si3N4 с включениями нанокристаллического гексагонального AlN при ее значениях для ионов Ti, Al и Si, превышающих величины ~ 317· 10-19, 267· 10-19 и 230· 10-19 J соответственно. При увеличении энергии ионов титана, бомбардирующих подложку, выше величины ~ 512· 10-19 J в покрытии наблюдается фазовый переход неупорядоченной фазы TiNx в Ti3N2 и появление внутри нанокристаллических слоев TiNx толщиной ~ 15 nm субслоев размером 2-3 nm. Максимальная твердость покрытий при этом составляет величину ~ 54 GPa.
  • Погребняк А.Д., Береснев В.М., Бондар О.В. и др. // Письма в ЖТФ. 2014. Т. 40. В. 5. С. 59--66
  • Blinkov I.V., Volkhonskii A.O., Kuznetsov D.V., Skryleva E.A. // J. Alloys Comp. 2014. V. 586. P. 381--386
  • Soderberg H., Molina-Aldareguia J.M., Hultman L., Oden M. // J. Appl. Phys. 2005. V. 97. P. 114 327
  • Lihua Y., Dong Sh., Xu J., Kojima I. // Thin Solid Films. 2008. V. 516. P. 1864--1870
  • Zhang Z.G., Rapaud O., Allain N., Mercs D., Baraket M., Dong C., Coddet C. // Appl. Surf. Sci. 2009. V. 255. P. 4020--4026
  • Inoue A., Kimura H.M., Sasamori K., Masumoto T. // Mater. Sci. Eng. A. 1996. V. 217--218. P. 401--406
  • Месяц Г.А., Баренгольц С.А. // Успехи физических наук. 2002. Т. 172. В. 10. С. 1113--1130
  • Chang H.-W., Huang P.-K., Yeh J.-W., Davison A., Tsau Ch.-H., Yang Ch.-Ch. // Surf. Coat. Technol. 2008. V. 202. P. 3360--3366
  • Гусев А.И., Бельков А.М., Выродова Т.Д. // ФТТ. 2014. Т. 56. В. 10. С. 2025--1062
  • Решетняк Е.А., Стрельницкий В.Е // Вопросы атомной науки и техники. Сер. Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение. 2008. В 2. C. 119--130
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.