Вышедшие номера
Поликристаллические неселективные приемники излучения на основе пленок высшего силицида марганца
Камилов Т.С.1, Хусанов А.Ж.1, Бахадырханов М.К.1, Кобилов Д.К.1
1Ташкентский государственный авиационный институт, Узбекистан, Кокандский государственный педагогический институт, Узбекистан Ташкентский государственный политехнический университет, Узбекистан
Поступила в редакцию: 11 июня 2002 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2002 г.

При наклонном осаждении испаряемого в реакторе марганца на подложки из кремния получены преимущественно текстурированные пленки высшего силицида марганца (ВСМ) с анизотропной термоэлектродвижущей силой (термо-ЭДС). Исследованы основные параметры приемников инфракрасного излучения на основе этих пленок. Показано, что разработанные приемники на пленках ВСМ толщиной ~5 mum на подложке из кремния передают временную структуру излучения с быстродействием =< 10-6 s, обладают коэффициентом преобразования не менее 500 muV/W, электросопротивлением ~200 Omega.