Поликристаллические неселективные приемники излучения на основе пленок высшего силицида марганца
Камилов Т.С.1, Хусанов А.Ж.1, Бахадырханов М.К.1, Кобилов Д.К.1
1Ташкентский государственный авиационный институт, Узбекистан, Кокандский государственный педагогический институт, Узбекистан Ташкентский государственный политехнический университет, Узбекистан
Поступила в редакцию: 11 июня 2002 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2002 г.
При наклонном осаждении испаряемого в реакторе марганца на подложки из кремния получены преимущественно текстурированные пленки высшего силицида марганца (ВСМ) с анизотропной термоэлектродвижущей силой (термо-ЭДС). Исследованы основные параметры приемников инфракрасного излучения на основе этих пленок. Показано, что разработанные приемники на пленках ВСМ толщиной ~5 mum на подложке из кремния передают временную структуру излучения с быстродействием =< 10-6 s, обладают коэффициентом преобразования не менее 500 muV/W, электросопротивлением ~200 Omega.
- Krontiras Ch., Pomoni K., Roilos M. // J. Phys. D. Appl. Phys. 1988. V. 21. P. 509
- Адашева С.И., Абдуллаев И., Вязьмина Е.А., Камилов Т.С., Клечковская В.В. // Изв. РАН. Сер. Физ. 1993. Т. 57. N 2. С. 133--136
- Силициды переходных металлов четвертого периода / Гельд П.В., Сидоренко Ф.А. М.: Металлургия, 1971. 584 с
- Силициды / Самсонов Г.В., Дворина Л.А., Рудь Б.М. М.: Металлургия, 1979. 271 с
- Andreev V.I., Granovskii A.B., Engalychev A.E., Zaitsev V.K., Ordin S.V., Yakovlev V.A. Abstracts of Papers, VI All--Union Conf. (Moscow). 1986. P. 22
- Zaitsev V.K. CRC Handbook of Thermoelectrics ed DW Rowe New York--London: CRC Press, 1985. P. 299
- Термоэлементы и термоэлектрические устройства / Анатычук Л.И. Киев: Наук. думка, 1979. 664 с
- Андреев В.И., Грановский А.Б., Яковлев В.А. // Квантовая электроника. 1985. Т. 12. N 6. С. 1295--1296
- Kamilov T.S., Sadullaev B.L., Ganiev U.Sh., Kamilov B.T. // Semicond. Sci. Technol. 1988. V. 13. P. 496
- Kamilov T.S., Chirva V.A., Kabilov D.K. // Semicond. Sci. Technol. 1999. V. 14. P. 1012
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук