Аморфные пленки кремния и германия для неохлаждаемых микроболометров
Енукова Т.А.1, Иванова Н.Л.1, Куликов Ю.В.1, Маляров В.Г.1, Хребтов И.А.1
1ВНЦ "ГОИ им. С.И. Вавилова", С.-Петербург
Поступила в редакцию: 17 февраля 1997 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1997 г.
Представлены результаты экспериментального анализа возможности применения в неохлаждаемых микроболометрах аморфных пленок кремния и германия, изготовленных методом магнетронного распыления. Получены пленки a-Si и a-Ge, имеющие энергию активации и удельное сопротивление, равные 0.135 и 0.2 эВ, и 50 и 0.4 кОм·см соответственно.
- Wood R.A., Foss N.A. // Lazer Focus World. 1993. V. 29. N 6. P. 101--106
- Unewisse M.H., Graig B.I., Watson R.J., Liddiard K.C. // Proc. SPIE. 1995. V. 2554. P. 43--45
- Marshall C., Butler N., Blackwell R., Murphy R., Breen T. Proc. SPIE. 1996. V. 2746. P. 23--31
- Unewisse M.H., Liddiard K.C., et al. // Proc. SPIE. 1995. V. 2552. P. 77--87
- Pawlewicz W.T. // J. Appl. Phys. 1978. V. 49. N 11. P. 5595--5601
- Иванова Н.Л., Никитин В.В., Онохов А.П. // Оптический журнал. 1993. N 7. C. 45--49
- Nquyen Van Dong, Tran Quoc Hai // Phys. Stat. Sol. (b). 1978. V. 88. N 2. P. 355--561
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук