Вышедшие номера
Исследование имплантированных слоев в карбиде кремния модуляционным фоторефлекционным методом
Вальтер (H.G. Walther) Х.Г.1,2,3,4, Карге (H. Karge) Х.1,2,3,4, Муратиков К.Л.1,2,3,4, Суворов А.В.1,2,3,4, Усов И.О.1,2,3,4
1Institute fur Optik und Quantenelektronik, Friedrich-Schiller Universitat, Jena, Germany
2Jena Wave Engineering & Consulting, Jena, Germany
3Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
4Cree Reseach Inc. Durham, NC, USA
Поступила в редакцию: 4 марта 1997 г.
Выставление онлайн: 19 июня 1997 г.

Рассмотрена возможность использования модуляционного фоторефлекционного метода для диагностики ионно-имплантированных слоев в карбиде кремния. Показано, что фоторефлекционный метод позволяет определять толщину слоя, а также характер изменения оптических параметров слоя в зависимости от дозы имплантированных ионов.