"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Структурная характеризация сверхрешеток AlGaN/GaN на основе трехволновой дифракции рентгеновских лучей
Кютт Р.Н.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: r.kyutt@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 24 августа 2011 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2011 г.

По схеме Реннингера измерена трехволновая дифракция рентгеновских лучей от эпитаксиальных сверхрешеток AlGaN/GaN, выращенных методом MOCVD на c-сапфире. В качестве первичного взято запрещенное отражение 0001. В положении каждого трехволнового рефлекса измерялись пики theta-сканирования. Из угловых положений пиков на диаграмме Реннингера (кривых varphi-сканирования) определены средние параметры a и c сверхрешеток. Показана возможность получения дифракционной картины с сателлитами на theta-2theta-кривой 0001-отражения в азимутальном положении трехволновой дифракции. Проанализированы угловые полуширины дифракционных пиков как varphi-, так и theta-сканирования в их связи с дефектной структурой слоев. На этой основе предлагается новый метод определения структурных параметров сверхрешеток.
  1. Кютт Р.Н., Щеглов М.П., Давыдов В.Ю., Усиков А.С. // ФТТ. 2004. Т. 46. С. 353
  2. Кютт Р.Н., Мосина Г.Н., Щеглов М.П., Сорокин Л.М. // ФТТ. 2006. Т. 48. С. 1491
  3. Sasaki J.M., Cardoso L.P., Campos C., Roberts K.J., Clark G.F., Pantos E., Sacilotti M.A. // J. Appl. Phys. 1996. V. 79. P. 3492
  4. Korytar D., Ferrary C., Bochnicek Z. // J. Appl. Cryst. 1998. V. 31. P. 570
  5. Freitas R.O., Lamas T.E., Quivy A.A., Morelhao S.L. // Phys. stat. sol. (a). 2007. V. 204. P. 2548
  6. Blasing J., Krost A. // Phys. Stat. Sol. 2004. V. 201. P. 17
  7. Blassing J., Krost A., Hertkorn J. et al. // J. Appl. Phys. 2009. V. 105. P. 033504
  8. Кютт Р.Н. // Письма в ЖТФ. 2010. Т. 36. В. 15. С. 14
  9. Кютт Р.Н. // ЖТФ. 2011. Т. 81. В. 5. С. 81
  10. Ratnikov V.V., Kyutt R.N., Shubina T.V., Pashkova T., Monemar B. // J. Phys. D. Appl. Phys. 2001. V. 34. P. A30

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.