"Письма в журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
О возможности создания малого плазменного облака электрическим импульсом с 20-пикосекундным фронтом нарастания
Грехов И.В.1, Шматов М.Л.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: grekhov@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 2 октября 2006 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2007 г.

Показано, что электрические импульсы с 20-пикосекундным фронтом нарастания могут быть использованы для создания плазменных облаков с линейными размерами порядка 1 mum и внутренней энергией порядка 10-100 eV/ion. Эти облака могут представлять интерес как источник излучения для фотолитографии. PACS: 52.80.Qj, 85.30.Mn
  1. Rodin P., Ebert U., Hundsdorfer W., Grekhov I. // J. Appl. Phys. 2002. V. 92. N 2. P. 958--964
  2. Стриганов А.Р., Одинцова Г.А. Таблицы спектральных линий атомов и ионов: Справочник. М.: Энергоатомиздат. 312 с
  3. Бердоносов С.С. // Физическая энциклопедия. Т. 2. С. 598. М.: Сов. энциклопедия, 1990. 704 с
  4. Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Статистическая физика. Часть 1 (Теоретическая физика. Т. 5). 3-е изд. М.: Наука, 1976. 584 с
  5. Арцимович Л.А. Элементарная физика плазмы. 3-е изд. М.: Атомиздат, 1969. 192 с
  6. Ho D.D.-M., Brandon S.T. // Nucl. Fusion. 1996. V. 36. N 6. P. 769--781
  7. Виноградов А.В., Шляпцев В.Н. // Квантовая электроника. 1987. Т. 14. N 1. С. 5--26
  8. Шматов М.Л. Быстрый поджиг через конус. Материалы VII Забабахинских научных чтений. Снежинск, 2003. Секция 3. http://www.vniitf.ru/rig/konfer/7zst/reports/3-17.pdf
  9. Бете Э., Солпитер Э. Квантовая механика атомов с одним и двумя электронами. М.: Физматгиз, 1960. 564 с
  10. Rymell L., Berglund M., Malmqvist L., Hertz H.M. // Inst. Phys. Conf. Ser. 1996. N 151. P. 472--474.
  11. Боровский А.В., Коробкин В.В., Мокров В.Б. // Квантовая электроника. 1989. Т. 16. N 12. С. 2438--2442
  12. Платоненко В.Т., Шаяхметова М.К. // Квантовая Электроника. 1991. Т. 18. N 7. С. 781--782
  13. Wulker C., Theobald W., Ouw D. et al. // AIP Conf. Proc. 1994. N 332. P. 121--125
  14. Шматов М.Л. // Квантовая электроника. 1997. Т. 24. N 4. С. 311--312.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.