Особенности морфологии поверхности тонких проводящих пленок оксидов индия и олова, полученных методом лазерно-ориентированного осаждения
Тойкка А.С.1,2, Каманина Н.В.1,2,3
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
2Петербургский институт ядерной физики им. Б.П. Константинова, Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Гатчина, Ленинградская область, Россия
3Государственный оптический институт им. С.И. Вавилова, Санкт-Петербург, Россия
Email: atoikka@obraz.pro, nvkamanina@mail.ru
Поступила в редакцию: 8 сентября 2023 г.
В окончательной редакции: 30 октября 2023 г.
Принята к печати: 1 ноября 2023 г.
Выставление онлайн: 6 января 2024 г.
Исследовано влияние напряженности управляющего электрического поля на свойства поверхности лазерно-осажденных тонких пленок на основе оксидов индия и олова (ITO). Показано, что с ростом напряженности управляющего поля снижается шероховатость покрытий с 3.4 до 0.4 nm. При смачивании каплями дистиллированной воды установлено, что в образцах, осаждавшихся при поле E=0 V/cm, реализуется состояние Касси-Бакстера, при E=100 V/cm наблюдается переход в состояние Венцеля, а при дальнейшем росте напряженности электрического поля в процессе осаждения ITO проявляется динамика в направлении к модели идеально гладкой поверхности. Ключевые слова: лазерно-ориентированное осаждение, оксиды индия и олова, прозрачные проводящие контакты.
- S. Rajput, V. Kaushik, S. Jain, P. Tiwari, A.K. Srivastava, M. Kumar, J. Lightwave Technol., 38 (6), 1365 (2019). DOI: 10.1109/JLT.2019.2953690
- N.V. Kamanina, Yu.A. Zubtsova, A.S. Toikka, S. Likhomanova, A. Zak, R. Tenne, Liq. Cryst. and their Appl., 20 (1), 34 (2020). DOI: 10.18083/LCAppl.2020.1.34
- J.H. Kim, H.J. Seok, H.J. Seo, T.Y. Seong, J.H. Heo, S.H. Lim, K.J. Ahn, H.K. Kim, Nanoscale, 10 (44), 20587 (2018). DOI: 10.1039/C8NR06586A
- M. Smietana, M. Koba, P. Sezemsky, K. Szot-Karpinska, D. Burnat, V. Stranak, J. Niedzio ka-Jonsson, R. Bogdanowicz, Biosensors Bioelecntron., 154, 112050 (2020). DOI: 10.1016/j.bios.2020.112050
- N.V. Kamanina, A.A. Kukharchik, P.V. Kuzhakov, Yu.A. Zubtcova, R.O. Stepanov, N.V. Baryshnikov, Liq. Cryst. and their Appl., 15 (3), 109 (2015). DOI: 10.18083/LCAppl.2015.3.109
- M. Musztyfaga-Staszuk, K. Gawlinska-Necek, R. Socha, P. Panek, Materials, 16 (4), 1363 (2023). DOI: 10.3390/ma16041363
- M. Das, M. Kohlstadt, M. Enders, S. Burger, H.S. Sasmal, B. Zimmermann, A. Schafer, B.J. Tyler, H.F. Arlinghaus, I. Krossing, U. Wurfel, F. Glorius, Chemistry --- Eur. J., 29 (60), e202301482 (2023). DOI: 10.1002/chem.202301482
- L. Dong, G. Zhu, H. Xu, X. Jiang, X. Zhang, Y. Zhao, D. Yan, L. Yuan, A. Yu, Materials, 12 (6), 958 (2019). DOI: 10.3390/ma12060958
- B. Zhao, M. Nisula, A. Dhara, L. Henderick, F. Mattelaer, J. Dendooven, C. Detavernier, Adv. Mater. Interfaces, 7 (23), 2001022 (2021). DOI: 10.1002/admi.202001022
- H. Cheng, L. Wang, R. Xiao, J. Wang, Optik, 262, 169289 (2022). DOI: 10.1016/j.ijleo.2022.169289
- Н.В. Каманина, П.Я. Васильев, Жидкокристаллический пространственно-временной модулятор света на основе фуллеренсодержащих пиридиновых структур с ориентирующими покрытиями на основе углеродных нанотрубок, патент RU 2 341 818 C2 (приоритет от 22.12.2006)
- N. Kamanina, A. Toikka, D. Kvashnin, J. Compos. Sci., 6 (6), 181 (2022). DOI: 10.3390/jcs6060181
- N. Kamanina, A. Toikka, B. Valeev, D. Kvashnin, J. Carbon Res., 7 (4), 84 (2021). DOI: 10.3390/c7040084
- A.M. Bonch-Bruevich, M.N. Libenson, V.S. Makin, V.V. Trubaev, Opt. Eng., 31 (4), 718 (1992). DOI: 10.1117/12.56133
- R.J. Good, J. Adhesion Sci. Technol., 6 (12), 1269 (1992). DOI: 10.1163/156856192X00629
- S. Elmas, S. Korkmaz, S. Pat, J. Mater. Sci.: Mater. Electron., 30 (9), 8876 (2019). DOI: 10.1007/s10854-019-01215-1
- M. Xue, N. Peng, C. Li, J. Ou, F. Wang, W. Li, Appl. Surf. Sci., 329, 11 (2015). DOI: 10.1016/j.apsusc.2014.12.145
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.