Вышедшие номера
Пробой тяжелых инертных газов импульсом электромагнитного излучения гиротрона частотой 1 THz
Russian Science Foundation, 19-19-00599
Веселов А.П.1, Сидоров А.В.1, Калынов Ю.К.1, Водопьянов А.В.1
1Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: veselov@ipfran.ru, alexsv@ipfran.ru, kalynov@ipfran.ru, avod@ipfran.ru
Поступила в редакцию: 30 ноября 2022 г.
В окончательной редакции: 30 декабря 2022 г.
Принята к печати: 13 января 2023 г.
Выставление онлайн: 15 февраля 2023 г.

Проведено исследование газового разряда, инициированного излучением гиротрона частотой 1 THz. Рассчитаны пробойные кривые как для самостоятельного, так и для инициированного посредством предплазмы пробоя. Показано, что в случае принципиально импульсного пробоя с длительностью свыше нескольких микросекунд пороговое электрическое поле пробоя мало отличается от такового для пробоя непрерывным излучением. Также оценена возможность использования излучения терагерцевого гиротрона для создания и поддержания разряда в газовых мишенях на установках для фотолитографии в глубоком ультрафиолете. Ключевые слова: гиротрон, терагерцевый разряд, фотолитография в глубоком ультрафиолете.