Пробой тяжелых инертных газов импульсом электромагнитного излучения гиротрона частотой 1 THz
Russian Science Foundation, 19-19-00599
Веселов А.П.1, Сидоров А.В.1, Калынов Ю.К.1, Водопьянов А.В.1
1Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: veselov@ipfran.ru, alexsv@ipfran.ru, kalynov@ipfran.ru, avod@ipfran.ru
Поступила в редакцию: 30 ноября 2022 г.
В окончательной редакции: 30 декабря 2022 г.
Принята к печати: 13 января 2023 г.
Выставление онлайн: 15 февраля 2023 г.
Проведено исследование газового разряда, инициированного излучением гиротрона частотой 1 THz. Рассчитаны пробойные кривые как для самостоятельного, так и для инициированного посредством предплазмы пробоя. Показано, что в случае принципиально импульсного пробоя с длительностью свыше нескольких микросекунд пороговое электрическое поле пробоя мало отличается от такового для пробоя непрерывным излучением. Также оценена возможность использования излучения терагерцевого гиротрона для создания и поддержания разряда в газовых мишенях на установках для фотолитографии в глубоком ультрафиолете. Ключевые слова: гиротрон, терагерцевый разряд, фотолитография в глубоком ультрафиолете.
- X. Fu, Y. Liu, Q. Chen, Y. Fu, T.J. Cui, Front. Phys., 10 (2022). DOI: 10.3389/fphy.2022.869537
- О.А. Шевченко, Н.А. Винокуров, В.С. Арбузов, К.Н. Чернов, И.В. Давидюк, О.И. Дейчули, Е.Н. Дементьев, Б.А. Довженко, Я.В. Гетманов, Я.И. Горбачев, Б.А. Князев, Е.И. Колобанов, А.А. Кондаков, В.Р. Козак, Е.В. Козырев, С.А. Крутихин, В.В. Кубарев, Г.Н. Кулипанов, Е.А. Купер, И.В. Купцов, Г.Я. Куркин, Л.Э. Медведев, С.В. Мотыгин, В.К. Овчар, В.Н. Осипов, В.М. Петров, А.М. Пилан, В.М. Попик, В.В. Репков, Т.В. Саликова, М.А. Щеглов, И.К. Седляров, С.С. Середняков, А.Н. Скринский, С.В. Тарарышкин, А.Г. Трибендис, В.Г. Ческидов, П.Д. Воблый, В.Н. Волков, Изв. РАН. Сер. физ., 83 (2), 278 (2019). DOI: 10.1134/S0367676519020273 [O.A. Shevchenko, N.A. Vinokurov, V.S. Arbuzov, K.N. Chernov, I.V. Davidyuk, O.I. Deichuly, E.N. Dementyev, B.A. Dovzhenko, Ya.V. Getmanov, Ya.I. Gorbachev, B.A. Knyazev, E.I. Kolobanov, A.A. Kondakov, V.R. Kozak, E.V. Kozyrev, S.A. Krutikhin, V.V. Kubarev, G.N. Kulipanov, E.A. Kuper, I.V. Kuptsov, G.Ya. Kurkin, L.E. Medvedev, S.V. Motygin, V.K. Ovchar, V.N. Osipov, V.M. Petrov, A.M. Pilan, V.M. Popik, V.V. Repkov, T.V. Salikova, M.A. Scheglov, I.K. Sedlyarov, S.S. Serednyakov, A.N. Skrinsky, S.V. Tararyshkin, A.G. Tribendis, V.G. Tcheskidov, P.D. Vobly, V.N. Volkov, Bull. Russ. Acad. Sci. Phys., 83 (2), 228 (2019). DOI: 10.3103/S1062873819020278]
- M.Yu. Glyavin, T. Idehara, S.P. Sabchevski, IEEE Trans. Terahertz Sci. Technol., 5 (5), 788 (2015). DOI: 10.1109/TTHZ.2015.2442836
- I.S. Abramov, E.D. Gospodchikov, A.G. Shalashov, Phys. Rev. Appl., 10 (3), 034065 (2018). DOI: 10.1103/PhysRevApplied.10.034065
- A. Shalashov, E. Gospodchikov, IEEE Trans. Antennas Propag., 64 (9), 3960 (2016). DOI: 10.1109/TAP.2016.2583487
- A.V. Sidorov, S.V. Golubev, S.V. Razin, A.P. Veselov, A.V. Vodopyanov, A.P. Fokin, A.G. Luchinin, M.Yu. Glyavin, J. Phys. D: Appl. Phys., 51 (46), 464002 (2018). DOI: 10.1088/1361-6463/aadb3c
- V.L. Bratman, Yu.K. Kalynov, V.N. Manuilov, Phys. Rev. Lett., 102 (24), 245101 (2009). DOI: 10.1103/PhysRevLett.102.245101
- Yu.K. Kalynov, I.V. Bandurkin, V.N. Manuilov, I.V. Osharin, A.V. Savilov, N.A. Zavolsky, in 2019 44th Int. Conf. on infrared, millimeter, and terahertz waves (IRMMW-THz), p. 1 (IEEE, 2019). DOI: 10.1109/IRMMW-THz.2019.8874254
- Yu.K. Kalynov, S.V. Razin, A.V. Sidorov, A.V. Vodopyanov, A.P. Veselov, Proc. SPIE, 11582, 115820P (2020). DOI: 10.1117/12.2580161
- Ю.П. Райзер, Физика газового разряда (Интеллект, Долгопрудный, 2009). [Yu.P. Raizer, Gas discharge physics (Springer, Berlin-Heidelberg, 1991).]
- А.И. Выскребенцев, Ю.П. Райзер, ПМТФ, N 1, 40 (1973). [A.I. Vyskrebentsev, Yu.P. Raizer, J. Appl. Mech. Tech. Phys., 14, 32 (1973). DOI: 10.1007/BF00850574]
- G.G. Denisov, M.Yu. Shmelyov, Int. J. Infrared Millim. Waves, 12 (10), 1187 (1991). DOI: 10.1007/BF01008561
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.