Вышедшие номера
Home » Письма в журнал технической физики » Год 2023, выпуск 6 » Статья стр. 35
<<<>>>
Пробой тяжелых инертных газов импульсом электромагнитного излучения гиротрона частотой 1 THz
DOI: 10.21883/PJTF.2023.06.54815.19445
Переводная версия: 10.21883/TPL.2023.03.55691.19445
Russian Science Foundation, 19-19-00599
Веселов А.П.1, Сидоров А.В.1, Калынов Ю.К.1, Водопьянов А.В.1
1Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: veselov@ipfran.ru, alexsv@ipfran.ru, kalynov@ipfran.ru, avod@ipfran.ru
Поступила в редакцию: 30 ноября 2022 г.
В окончательной редакции: 30 декабря 2022 г.
Принята к печати: 13 января 2023 г.
Выставление онлайн: 15 февраля 2023 г.
PDF версия
Проведено исследование газового разряда, инициированного излучением гиротрона частотой 1 THz. Рассчитаны пробойные кривые как для самостоятельного, так и для инициированного посредством предплазмы пробоя. Показано, что в случае принципиально импульсного пробоя с длительностью свыше нескольких микросекунд пороговое электрическое поле пробоя мало отличается от такового для пробоя непрерывным излучением. Также оценена возможность использования излучения терагерцевого гиротрона для создания и поддержания разряда в газовых мишенях на установках для фотолитографии в глубоком ультрафиолете. Ключевые слова: гиротрон, терагерцевый разряд, фотолитография в глубоком ультрафиолете.
  1. X. Fu, Y. Liu, Q. Chen, Y. Fu, T.J. Cui, Front. Phys., 10 (2022). DOI: 10.3389/fphy.2022.869537
  2. О.А. Шевченко, Н.А. Винокуров, В.С. Арбузов, К.Н. Чернов, И.В. Давидюк, О.И. Дейчули, Е.Н. Дементьев, Б.А. Довженко, Я.В. Гетманов, Я.И. Горбачев, Б.А. Князев, Е.И. Колобанов, А.А. Кондаков, В.Р. Козак, Е.В. Козырев, С.А. Крутихин, В.В. Кубарев, Г.Н. Кулипанов, Е.А. Купер, И.В. Купцов, Г.Я. Куркин, Л.Э. Медведев, С.В. Мотыгин, В.К. Овчар, В.Н. Осипов, В.М. Петров, А.М. Пилан, В.М. Попик, В.В. Репков, Т.В. Саликова, М.А. Щеглов, И.К. Седляров, С.С. Середняков, А.Н. Скринский, С.В. Тарарышкин, А.Г. Трибендис, В.Г. Ческидов, П.Д. Воблый, В.Н. Волков, Изв. РАН. Сер. физ., 83 (2), 278 (2019). DOI: 10.1134/S0367676519020273 [O.A. Shevchenko, N.A. Vinokurov, V.S. Arbuzov, K.N. Chernov, I.V. Davidyuk, O.I. Deichuly, E.N. Dementyev, B.A. Dovzhenko, Ya.V. Getmanov, Ya.I. Gorbachev, B.A. Knyazev, E.I. Kolobanov, A.A. Kondakov, V.R. Kozak, E.V. Kozyrev, S.A. Krutikhin, V.V. Kubarev, G.N. Kulipanov, E.A. Kuper, I.V. Kuptsov, G.Ya. Kurkin, L.E. Medvedev, S.V. Motygin, V.K. Ovchar, V.N. Osipov, V.M. Petrov, A.M. Pilan, V.M. Popik, V.V. Repkov, T.V. Salikova, M.A. Scheglov, I.K. Sedlyarov, S.S. Serednyakov, A.N. Skrinsky, S.V. Tararyshkin, A.G. Tribendis, V.G. Tcheskidov, P.D. Vobly, V.N. Volkov, Bull. Russ. Acad. Sci. Phys., 83 (2), 228 (2019). DOI: 10.3103/S1062873819020278]
  3. M.Yu. Glyavin, T. Idehara, S.P. Sabchevski, IEEE Trans. Terahertz Sci. Technol., 5 (5), 788 (2015). DOI: 10.1109/TTHZ.2015.2442836
  4. I.S. Abramov, E.D. Gospodchikov, A.G. Shalashov, Phys. Rev. Appl., 10 (3), 034065 (2018). DOI: 10.1103/PhysRevApplied.10.034065
  5. A. Shalashov, E. Gospodchikov, IEEE Trans. Antennas Propag., 64 (9), 3960 (2016). DOI: 10.1109/TAP.2016.2583487
  6. A.V. Sidorov, S.V. Golubev, S.V. Razin, A.P. Veselov, A.V. Vodopyanov, A.P. Fokin, A.G. Luchinin, M.Yu. Glyavin, J. Phys. D: Appl. Phys., 51 (46), 464002 (2018). DOI: 10.1088/1361-6463/aadb3c
  7. V.L. Bratman, Yu.K. Kalynov, V.N. Manuilov, Phys. Rev. Lett., 102 (24), 245101 (2009). DOI: 10.1103/PhysRevLett.102.245101
  8. Yu.K. Kalynov, I.V. Bandurkin, V.N. Manuilov, I.V. Osharin, A.V. Savilov, N.A. Zavolsky, in 2019 44th Int. Conf. on infrared, millimeter, and terahertz waves (IRMMW-THz), p. 1 (IEEE, 2019). DOI: 10.1109/IRMMW-THz.2019.8874254
  9. Yu.K. Kalynov, S.V. Razin, A.V. Sidorov, A.V. Vodopyanov, A.P. Veselov, Proc. SPIE, 11582, 115820P (2020). DOI: 10.1117/12.2580161
  10. Ю.П. Райзер, Физика газового разряда (Интеллект, Долгопрудный, 2009). [Yu.P. Raizer, Gas discharge physics (Springer, Berlin-Heidelberg, 1991).]
  11. А.И. Выскребенцев, Ю.П. Райзер, ПМТФ, N 1, 40 (1973). [A.I. Vyskrebentsev, Yu.P. Raizer, J. Appl. Mech. Tech. Phys., 14, 32 (1973). DOI: 10.1007/BF00850574]
  12. G.G. Denisov, M.Yu. Shmelyov, Int. J. Infrared Millim. Waves, 12 (10), 1187 (1991). DOI: 10.1007/BF01008561

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme