Низкоэмиссионные углеродные покрытия для управляющих сеток электровакуумных приборов высокой мощности
Яфаров Р.К.
1, Шабунин Н.О.
11Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Саратов, Россия
Email: pirpc@yandex.ru, n-shabunin@bk.ru
Поступила в редакцию: 21 апреля 2022 г.
В окончательной редакции: 27 декабря 2022 г.
Принята к печати: 28 декабря 2022 г.
Выставление онлайн: 1 февраля 2023 г.
Исследовано влияние дипольной поляризации углеродных пленочных покрытий на их вторичную эмиссию электронов. Показано, что плазменное фторирование углеродных покрытий с низким удельным поверхностным сопротивлением, полученных в микроволновой плазме паров этанола низкого давления, увеличивает работу выхода электронов на 0.6 eV и уменьшает вторичную электронную эмиссию более чем в 2 раза. Результаты могут быть использованы для получения коллекторов и антиэмиссионных покрытий на сеточных электродах мощных электровакуумных устройств СВЧ- и субтерагерцевого диапазонов. Ключевые слова: микроволновая плазма, углеродная пленка, плазменное фторирование, работа выхода, вторичная электронная эмиссия.
- А.М. Анпилов, Э.М. Бархударов, И.А. Коссый, М.А. Мисакян, Способ получения наноструктурированного углеродного покрытия, патент RU N 2565199 (заявка 26.07.2013, опубл. 20.10.2015)
- C. Jin, T. Huang, Y. Yang, D. Yang, Y. Hu, L. Zhuge, X. Wu, Material for suppressing secondary electron emission, patent CN104241061A (publ. 24.12. 2014)
- N. Bundaleska, A. Dias, N. Bundaleski, E. Felizardo, J. Henriques, D. Tsyganov, M. Abrashev, E. Valcheva, J. Kissovski, A.M. Ferraria, A.M. Botelho do Rego, A. Almeida, J. Zavavsnik, U. Cvelbar, O.M.N.D. Teodoro, Th. Strunskus, E. Tatarova, Sci. Rep., 10, 13013 (2020). DOI: 10.1038/s41598-020-69844-9
- W. Hu, X. Yi, J. Li, B. Gao, Y. Li, S. Wu, S. Lin, A kind of carbon-base film and preparation method thereof for inhibiting secondary, patent CN110396668A (publ. 01.11.2019)
- Р.К. Яфаров, Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий (Физматлит, М., 2009).
- Р.К. Яфаров, Н.О. Шабунин, В.Я. Шаныгин, А.М. Захаревич, Изв. Саратов. ун-та. Новая серия. Физика, 20 (2), 134 (2020). DOI: 10.18500/1817-3020-20-2-134-143
- Д.А. Усанов, Р.К. Яфаров, Методы получения и исследования самоорганизующихся наноструктур на основе кремния и углерода (Изд-во Саратов. ун-та, Саратов, 2011).
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.