Ионно-плазменное осаждение многокомпонентных пленок с заданным законом распределения состава по толщине
Russian science foundation, 22-29-01607
Козырев А.Б.
1, Вольпяс В.А.
1, Тумаркин А.В.
1, Алтынников А.Г.
1, Комлев А.Е.
1, Платонов Р.А.
1, Трофимов П.М.
11Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Email: mlpeltech@gmail.com, Volpyas@yandex.ru, avtumarkin@yandex.ru, a.altynnikov@gmail.com, a.e.komlev@gmail.com, r.a.platonov@gmail.com, pavelmtrofimov@gmail.com
Поступила в редакцию: 14 ноября 2022 г.
В окончательной редакции: 12 декабря 2022 г.
Принята к печати: 14 декабря 2022 г.
Выставление онлайн: 16 января 2023 г.
Предложен метод ионно-плазменного осаждения тонких многокомпонентных пленок с возможностью управления составом по толщине (graded film) при изменении давления рабочего газа по заданному закону. На примере структуры типа перовскита BaxSr1-xTiO3 получены расчетные (моделирование методом Монте-Карло) и экспериментальные зависимости компонентного состава пленок BaxSr1-xTiO3 и скорости их осаждения от давления рабочего газа. В качестве примера рассмотрена возможность напыления пленок BaxSr1-xTiO3 с линейным распределением состава по толщине. Ключевые слова: ионно-плазменное осаждение, тонкие многокомпонентные пленки, управление составом.
- H.-J. Choi, J.-U. Woo, H.-G. Hwangat, D.-S. Kim, M. Sannghadasa, S. Nahm, J. Eur. Ceram. Soc., 41 (4), 2559 (2021). DOI: 10.1016/j.jeurceramsoc.2020.12.027
- M.T. Kesim, M.W. Cole, J. Zhang, I.B. Misirlioglu, S.P. Alpay, Appl. Phys. Lett., 104 (2), 022901 (2014). DOI: 10.1063/1.4861716
- А.Г. Разумная, Ю.И. Головко, Н.В. Лянгузов, Ю.И. Юзюк, В.Б. Шроков, В.М. Мухортов, M. El Marssi, ФТТ, 57 (11), 2181 (2015). [A.G. Razumnaya, Yu.I. Golovko, N.V. Lyanguzov, Yu.I. Yuzyuk, V.B. Shirokov, V.M. Mukhortov, M. El Marssi, Phys. Solid State, 57 (11), 2246 (2015). DOI: 10.1134/S1063783415110281]
- S. Turkdogan, J. Nanoelectron. Optoelectron., 13 (3), 340 (2018). DOI: 10.1166/jno.2018.2235
- F. Ahmad, A. Lakhtakia, P.B. Monk, Appl. Opt., 59 (4), 1018 (2020). DOI: 10.1364/AO.381246
- H. Bergeron, L.M. Guiney, M.E. Beck, C. Zhang, V.K. Sangwan, C.G. Torres-Castanedo, J.T. Gish, R. Rao, D.R. Austin, S. Guo, D. Lam, K. Su, P.T. Brown, N.R. Glavin, B. Maruyama, M.J. Bedzyk, V.P. Dravid, M.C. Hersam, Appl. Phys. Rev., 7 (4), 041402 (2020). DOI: 10.1063/5.0023080
- M.D. Nguyen, Y.A. Birkhцlzer, E.P. Houwma, G. Koster, G. Rijnders, Adv. Energy Mater., 12 (29), 2200517 (2022). DOI: 10.1002/aenm.202200517
- M. Shahram, K. Soumya, R. Milad, V. Yeddu, O. Voznyy, M.I. Saidaminov, Commun. Mater., 3 (1), 13 (2022). DOI: 10.1038/s43246-022-00235-5
- J. Sakai, J.M.C. Roque, P. Vales-Castro, J. Padilla-Pantoja, G. Sauthier, G.C.J. Santiso, Coatings, 10 (6), 540 (2020). DOI: 10.3390/coatings10060540
- В.А. Вольпяс, А.Б. Козырев, ЖЭТФ, 140 (1), 196 (2011). [V.A. Volpyas, A.B. Kozyrev, JETP, 113 (1), 172 (2011). DOI: 10.1134/S1063776111060227]
- В.А. Вольпяс, А.В Тумаркин, А.К. Михайлов, А.Б. Козырев, Р.А. Платонов, Письма в ЖТФ, 42 (14), 87 (2016). [V.A. Volpyas, A.V. Tumarkin, A.K. Mikhailov, A.B. Kozyrev, R.A. Platonov, Tech. Phys. Lett., 42 (7), 758 (2016). DOI: 10.1134/S1063785016070300]
- A. Tumarkin, E. Sapego, A. Gagarin, A. Karamov, Molecules, 27 (18), 6086 (2022). DOI: 10.3390/molecules27186086
- V.A. Volpyas, A.Y. Komlev, R.A. Platonov, A.B. Kozyrev, Phys. Lett. A, 378 (43), 3182 (2014). DOI: 10.1016/j.physleta.2014.09.014
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
