Вышедшие номера
Ионно-плазменное осаждение многокомпонентных пленок с заданным законом распределения состава по толщине
Russian science foundation, 22-29-01607
Козырев А.Б. 1, Вольпяс В.А. 1, Тумаркин А.В. 1, Алтынников А.Г. 1, Комлев А.Е. 1, Платонов Р.А. 1, Трофимов П.М.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Email: mlpeltech@gmail.com, Volpyas@yandex.ru, avtumarkin@yandex.ru, a.altynnikov@gmail.com, a.e.komlev@gmail.com, r.a.platonov@gmail.com, pavelmtrofimov@gmail.com
Поступила в редакцию: 14 ноября 2022 г.
В окончательной редакции: 12 декабря 2022 г.
Принята к печати: 14 декабря 2022 г.
Выставление онлайн: 16 января 2023 г.

Предложен метод ионно-плазменного осаждения тонких многокомпонентных пленок с возможностью управления составом по толщине (graded film) при изменении давления рабочего газа по заданному закону. На примере структуры типа перовскита BaxSr1-xTiO3 получены расчетные (моделирование методом Монте-Карло) и экспериментальные зависимости компонентного состава пленок BaxSr1-xTiO3 и скорости их осаждения от давления рабочего газа. В качестве примера рассмотрена возможность напыления пленок BaxSr1-xTiO3 с линейным распределением состава по толщине. Ключевые слова: ионно-плазменное осаждение, тонкие многокомпонентные пленки, управление составом.