Вышедшие номера
Тестовые структуры на базе SiC с тонкими слоями графена для определения аппаратной функции для Кельвин-зонд-микроскопии
Российский научный фонд, 22-12-00134
Министерство образования и науки Российской Федераци, договор № 075-15-2021-1349
Дунаевский М.С., Гущина Е.В., Малых Д.А., Лебедев С.П., Лебедев А.А.
Email: Mike.Dunaeffsky@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 18 октября 2022 г.
В окончательной редакции: 18 октября 2022 г.
Принята к печати: 13 декабря 2022 г.
Выставление онлайн: 16 января 2023 г.

Предложен метод определения аппаратной функции при измерениях поверхностного потенциала в режиме Кельвин-зонд-микроскопии. Метод основан на применении в качестве тестовой структуры поверхности политипов SiC, содержащих области однослойного и двухслойного графена. Измерение профилей потенциала вдоль различных направлений на такой поверхности позволяет определить аппаратную функцию для зондовых измерений потенциала. Используя аппаратную функцию, можно выполнять процедуру деконволюции и восстанавливать точный потенциал поверхности. Ключевые слова: сканирующая зондовая микроскопия, Кельвин-зонд-микроскопия, потенциал поверхности, тестовые структуры, графен, карбид кремния.