"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Исследование влияния содержания водорода на проводимость нанокристаллических алмазных пленок
Иванов О.А. 1, Вихарев А.Л. 1, Богданов С.А. 1, Овечкин Н.М. 1, Логинов В.П.2, Яковлев Ю.А. 2, Вуль А.Я. 3
1Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
2Институт проблем машиноведения РАН, Санкт-Петербург, Россия
3Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: ioleg@ipfran.ru, val@ipfran.ru, bogser@ipfran.ru, yura.yakovlev@gmail.com, AlexanderVul@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 16 июня 2021 г.
В окончательной редакции: 11 октября 2021 г.
Принята к печати: 11 октября 2021 г.
Выставление онлайн: 15 ноября 2021 г.

Приводятся результаты исследования электропроводности нанокристаллических алмазных пленок толщиной 0.5-0.6 μm, выращенных на кремнии Si (100) методом плазмохимического осаждения из газовой фазы в смесях водорода и метана, водорода, метана и кислорода при их различном содержании. Методом нагрева в вакууме с использованием анализатора водорода АВ-1 определена концентрация водорода в выращенных в различных условиях пленках и установлена связь между содержанием водорода в пленках и их проводимостью. Показано, что высокотемпературная обработка, например, в вакууме при температуре 600oC приводит к десорбции водорода из пленок и существенному возрастанию их сопротивления. Ключевые слова: нанокристаллический алмаз, тонкие алмазные пленки, электрические свойства пленок, содержание водорода.
  1. O.A. Williams, M. Nesladek, J.J. Marevs, P. Hubi k, in Physics and applications of CVD diamond, ed. by S. Koizumi, C. Nebel, M. Nesladek (Wiley-VCH, 2008), p. 13
  2. J. Kusterer, E Kohn, in CVD diamond for electronic devices and sensors, ed. by R.S. Sussmann (Wiley, 2009), p. 469
  3. A.V. Sumant, O. Auciello, R.W. Carpick, S. Srinivasan, J.E. Butler, MRS Bull., 35, 281 (2010). DOI: 10.1557/mrs2010.550
  4. I.-N. Lin, S. Koizumi, J. Yater, F. Koeck, MRS Bull., 39, 533 (2014). DOI: 10.1557/mrs.2014.101
  5. K.J. Sankaran, K. Haenen, in: Novel aspects of diamond, ed. by N. Yang (Springer, 2019), p. 123
  6. O. Auciello, J. Birrell, J. Carlisle, J. Gerbi, X. Xiao, B. Peng, H. Espinosa, J. Phys.: Condens. Matter, 16, 539 (2004). DOI: 10.1088/0953-8984/16/16/R02
  7. M. Lions, S. Saada, M.A. Pinault, F. Andrieu, O. Faynot, P. Bergonzo, AIP Conf. Proc., 1292, 129 (2010). DOI: 10.1063/1.3518278
  8. А.Л. Вихарев, С.А. Богданов, Н.М. Овечкин, О.А. Иванов, Д.Б. Радищев, А.М. Горбачев, М.А. Лобаев, А.Я. Вуль, А.Т. Дидейкин, С.А. Краев, С.А. Королев, ФТП, 55 (1), 49 (2021). DOI: 10.21883/FTP.2021.01.50387.9520
  9. C.A. Zorman, G.T. Mearini, R.W. Hoffman, Diamond Relat. Mater., 9, 1518 (2000). DOI: 10.1016/S0925-9635(00)00278-8
  10. C.J. Tang, L.P. Gu, J. Gracio, J.L. Ribeiro, Phys. Status Solidi A, 206, 2816 (2009). DOI: 10.1002/pssa.200925147
  11. А.М. Полянский, В.А. Полянский, Ю.А. Яковлев, Н.А. Феоктистов, В.Г. Голубев, А.Я. Вуль, Письма в ЖТФ, 41 (11), 56 (2015)
  12. А.М. Полянский, Л.А. Конопелько, В.А. Полянский, Ю.А. Яковлев, Измерительная техника, N 9, 65 (2019). DOI: 10.32446/0368-1025it.2019-9-65-71
  13. S.J. Harris, A.M. Weiner, Appl. Phys. Lett., 55, 2179 (1989). DOI: 10.1063/1.102350

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.