"Письма в журнал технической физики"
Вышедшие номера
Металл-стимулированное разложение поверхности сапфира в потоке электронов с энергией 70 keV
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), 20-21-00068 Росатом
Власов В.П.1, Муслимов А.Э.1, Каневский В.М.1
1Федеральный научно-исследовательский центр "Кристаллография и Фотоника" Российской академии наук, Москва, Россия
Email: amuslimov@mail.ru
Поступила в редакцию: 4 мая 2021 г.
В окончательной редакции: 6 июля 2021 г.
Принята к печати: 6 июля 2021 г.
Выставление онлайн: 11 августа 2021 г.

Исследовано металл-стимулированное разложение поверхности сапфира при комнатной температуре в потоке электронов с энергией 70 keV. В качестве стимулятора применен ансамбль кристаллических островков золота. Впервые установлено, что наличие ансамбля островков золота на поверхности сапфира значительно снижает температуру подложки и энергию электронов, при которых происходит разложение поверхности. Ямки травления образуются около островков золота и имеют удлиненную форму со следующими размерами: длина до 1.2 μm, ширина до 0.8 μm и средняя глубина 20 nm. Максимальная площадь основания островков при этом увеличивается с 0.6 до 1.8 μm2. Ключевые слова: сапфир, золото, металл-стимулированное разложение, поток электронов.
  1. J. Molla, R. Heidinger, A. Ibarra, J. Nucl. Mater., 212-215 (Pt B), 1029 (1994). DOI: 10.1016/0022-3115(94)90989-X
  2. C.L. Chen, H. Furusho, H. Mori, Phil. Mag. Lett., 89 (2), 113 (2009). DOI: 10.1080/09500830802649778
  3. T. Shikama, G.P. Pells, Phil. Mag. A, 47 (3), 369 (1983). DOI: 10.1080/01418618308245233
  4. J.-W. Park, A.J. Pedrasa, W.R. Allen, J. Vac. Sci. Technol. A, 14 (2), 286 (1996). DOI: 10.1116/1.579890
  5. D. Bouchet, C. Colliex, Ultramicroscopy, 96 (2), 139 (2003). DOI: 10.1016/S0304-3991(02)00437-0
  6. S.H. Oh, Y. Kauffmann, C. Scheu, W.D. Kaplan, M. Ruhle, Science, 310 (5748), 661 (2005). DOI: 10.1126/science.1118611
  7. S.J. Pearton, F. Ren, E. Patrick, M.E. Law, A.Y. Polyakov, ECS J. Solid State Sci. Technol., 5 (2), Q35 (2015). DOI: 10.1149/2.0251602jss
  8. Р. Маллер, Т. Кейминс, Элементы интегральных схем (Мир, М., 1989)
  9. А.Э. Муслимов, А.В. Буташин, А.Б. Колымагин, В.П. Власов, В.М. Каневский, Кристаллография, 60 (6), 964 (2015). DOI: 10.7868/S0023476115060211
  10. В.А. Бурдовицин, А.В. Медовник, Е.М. Окс, Е.В. Скробов, Ю.Г. Юшков, ЖТФ, 82 (10), 103 (2012). DOI: 10.1134/S1063784212100039
  11. R. Gossink, H. Van Doveren, J.A.T. Verhoeven, J. Non-Cryst. Solids, 37 (1), 111 (1980). DOI: 10.1016/0022-3093(80)90483-4
  12. G.P. Pells, D.C. Phillips, J. Nucl. Mater., 80 (2), 207 (1979). DOI: 10.1016/0022-3115(79)90183-1
  13. C.L. Chen, K. Arakawa, H. Mori, Scripta Mater., 63 (4), 355 (2010). DOI: 10.1016/j.scriptamat.2010.04.007
  14. M.L. Knotek, P.J. Feibelman, Phys. Rev. Lett., 40 (14), 964 (1978). DOI: 10.1103/PhysRevLett.40.964

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.